氟化氫作為一種重要的高附加值氟化工產品,用途非常廣泛,在國民經(jīng)濟中發(fā)揮著越來越重要的作用。氟化氫的制備方法主要分為螢石法和氟硅酸法,氟硅酸法包括氟化鹽中間法,硫酸分解氟硅酸制取氟化氫和氟硅酸熱分解制取氟化氫等方法的原理。

氟化氫的提純

HF經(jīng)純化后制備的電子級氫氟酸是微電子行業(yè)的關鍵化工材料,在薄膜液晶顯示器、集成電路和半導體等行業(yè)中用于清洗和腐蝕芯片，且可作為分析試劑及生產含氟的高純化學品。產品的純度、潔凈度直接影響集成電路的電性能、合格率和可靠性,關鍵要控制堿、重金屬及非金屬等離子雜質的含量。目前,國內外采用的提純技術主要為精餾、蒸餾、亞沸蒸餾,減壓蒸餾及氣體吸收等,不同的提純方法及特點見表1。

一般綜合利用蒸餾、化學處理、氣體吸收、顆粒控制及亞沸蒸餾等多種方法來制備超高純氫氟酸，滿足各項技術指標。蒸餾設備還需考慮高溫下材質的抗腐蝕性,一般用金、鉑、銀等或聚四氟乙烯制造。此外,生產裝置的設計取決于工藝流程的布置,利用物料自然向下流動的垂直布置能夠在中部制備高純氫氟酸,底部過濾產品、罐裝及貯存,能減少泵的輸送,節(jié)約能量并降低成本,避免二次污染。電子級氫氟酸的生產流程:經(jīng)過化學預處理的工業(yè)無水氫氟酸送入精餾塔進行精餾得到HF氣體;冷卻HF并送人吸收塔,吸收用超純水,任液比與噴淋密度繼續(xù)純化電子級氫氟酸。

  氟化氫蒸餾裝置圖

此裝置為PFA或聚四氟乙烯材質，耐受氫氟酸等強酸強堿，主要針對含氫氟酸，氟化氫的制備與純化實驗