XD Laser激光干涉儀可測六個誤差
5D/6D激光干涉儀是API產(chǎn)品，一次安裝能夠同時測量線性軸的六個誤差，包括1個位置度誤差、2個直線度誤差、3個角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時間進行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成

XD Laser激光干涉儀的組成：

      XD Laser 激光干涉儀是在LMS激光干涉儀的基礎上進行了改進。將控制箱集成到激光頭里，將原先的有線數(shù)據(jù)傳輸改為全程無線數(shù)據(jù)傳輸。因此、XD Laser激光干涉儀是由激光頭、傳感器、氣象站、筆記本電腦和連接整個系統(tǒng)的電纜組成。

XD Laser激光干涉儀技術綜述:

    ●1D激光主要可以測量定位誤差
    ●3D激光可以測量定位誤差、直線度誤差（雙向）
    ●5D/6D激光可以測量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動角

直線度測量— API XD的方法
應用先進的PSD技術：光電位置敏感檢測器。它可將光敏面上的光點位置轉化為電信號)
不怕斷光，可用于導軌的安裝調試(類似于自準直儀)
對直線度進行1:1的測量
可一次性安裝, 與線性誤差一起測量, 方便, 快速
垂直度測量— API XD的方法
API XD激光干涉儀是通過PSD技術1:1進行直線度測量的，所以API干涉儀測兩軸垂直度時只需一個五角棱鏡既可，無需其他鏡組. 裝/調非常方便快速
在測兩軸的垂直度的同時，兩軸各自的線性定位誤差、直線度，偏擺角、俯仰角都可一次測出，大大節(jié)省了測量所占用機床的時間，也可避免人為差錯。
偏擺角/俯仰角測量 — API XD的方法:
先進的PSD技術來測量小角度: 當入射光經(jīng)分光鏡射到凸透鏡上后，如果軸無角度變化，則光線經(jīng)透鏡聚在焦點上；如果軸有角度變化，則光線會在焦平面上的PSD光靶上得到兩個方向的坐標值，從而與焦距比較得出角度值。
測量角度過程中不怕斷光, 可用于導軌的安裝調試
不受滾動角的影響，調整光路容易 

XD Laser：5D/6D激光干涉儀是API產(chǎn)品，一次安裝能夠同時測量線性軸的六個誤差，包括1個位置度誤差、2個直線度誤差、3個角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時間進行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成，實際應用結果表明，節(jié)省時間可達80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上。6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學相位探測器識別后進行電子記數(shù)，記錄精確長度位移。第二束光用作直線度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝在傳感器內的橫向疚光電二級管測得。第三束光用作裝在6D傳感器內的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測量儀在結構的設計以及激光器的選擇方面都做了仔細周密的考慮，以使測量儀的橫向和角度漂移量都降低到小，從而保證測量儀的長期穩(wěn)定性。測量儀配有自動氣壓、環(huán)境溫度補償器，自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響，測量儀還配有專門設計的多重數(shù)字濾波器，使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到小。