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DE600 SPUTTER 北京高校物理實(shí)驗(yàn)室DE600 Sputter 磁控濺射系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 德儀科技有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào) DE600SPUTTER
  • 所在地 北京市
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2015/12/2 18:00:00
  • 訪問(wèn)次數(shù) 378

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德儀科技有限公司專(zhuān)業(yè)進(jìn)口美國(guó)磁控濺射、電子束蒸發(fā)、熱蒸發(fā)和脈沖激光真空薄膜沉積設(shè)備,以及磁控濺射源/電源、電子束蒸發(fā)源、濺射靶材和蒸發(fā)材料等。十幾年來(lái),憑著的品質(zhì),*的技術(shù)和周到的技術(shù)服務(wù),德儀公司的產(chǎn)品為中國(guó)的高校、科研院所及企業(yè)的薄膜沉積工作提供了有力的支持。

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  • LOAD LOCK預(yù)真空進(jìn)樣室(可選)
  • 前開(kāi)門(mén)濺射腔體
  • 冷凝泵和干泵
  • 多達(dá)6個(gè)磁控濺射源
  • 直流、射頻或脈沖電源
  • 朝上或朝下濺射
  • zui大8”基片
  • 基片旋轉(zhuǎn)
  • 基片偏壓(可選)
  • 基片加熱1000度(可選)
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  • 多達(dá)四路工藝氣體
  • PID濺射壓力控制
  • 系統(tǒng)手動(dòng)或自動(dòng)控制
  • 良好的薄膜均勻性和重復(fù)性
  • 可沉積金屬、半導(dǎo)體和絕緣材料


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