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OLS4500 奧林巴斯激光共焦顯微鏡

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EXT OLS4500是一款集成了激光顯微鏡和探針掃描顯微鏡功能于一體的新型納米檢測(cè)顯微鏡,可以實(shí)現(xiàn)從50倍到100萬倍的超大范圍的觀察和測(cè)量。

  • OLS4500為您帶來的解決方案
  • OLS4500實(shí)現(xiàn)了無縫觀察和測(cè)量
  • 跟從向?qū)М嬅娴闹甘荆?可輕松操作的6種SPM測(cè)量模式
  • 裝配了激光掃描顯微鏡,靈活應(yīng)對(duì)多種樣品
  • 可用于傳統(tǒng)的線粗糙度測(cè)量,也可用于信息量較多的面粗糙度測(cè)量
  • OLS4500的顯微鏡技術(shù)

OLS4500為您帶來的解決方案

實(shí)現(xiàn)納米級(jí)觀測(cè)的新型顯微鏡。不會(huì)丟失鎖定的目標(biāo)。

配有涵蓋了低倍觀察到高倍觀察的4種物鏡,并在電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了SPM單元。可以無縫切換倍率和觀察方法,不會(huì)丟失觀察對(duì)象。此外,該款顯微鏡可以進(jìn)行納米級(jí)觀測(cè)。

涵蓋了低倍到高倍觀察,并配有多種觀察方法可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象。

可以完成低倍到高倍的大范圍倍率觀察。不僅如此,*光學(xué)技術(shù)打造的光學(xué)顯微鏡帶來多種觀察方法,可以容易的發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象。此外,對(duì)于光學(xué)顯微鏡難以找到的觀察對(duì)象,還可以使用激光顯微鏡進(jìn)行觀察。在激光微分干涉(DIC)
觀察中,可以進(jìn)行納米級(jí)微小凹凸的實(shí)時(shí)觀察。

主機(jī) 規(guī)格
LSM部分光源、檢出系統(tǒng)光源:405 nm半導(dǎo)體激光、檢出系統(tǒng):光電倍增管
總倍率108~17,280X
變焦光學(xué)變焦:1~8X
測(cè)量平面測(cè)量重復(fù)性100x : 3σn-1=0.02μm、50x:3σn-1=0.04μm、20x:3σn-1=0.1μm
正確性測(cè)量值的±2%以內(nèi)
高度測(cè)量方式物鏡轉(zhuǎn)換器上下驅(qū)動(dòng)方式
行程10mm
內(nèi)置比例尺0.8nm
移動(dòng)分辨率10nm
顯示分辨率1nm
重復(fù)性100x :σn-1= 0.012μm、50x:σn-1=0.012μm、20x:σn-1=0.04μm
正確性0.2+L/100 μm以下(L=測(cè)量長度)
彩色觀察部分光源、檢出系統(tǒng)光源:白色LED、檢出系統(tǒng):1/1.8英寸200萬像素單片CCD
變焦碼變焦:1~8X
物鏡轉(zhuǎn)換器6孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器
微分干涉單元微分干涉滑片:U-DICR、內(nèi)置偏振光片單元
物鏡明視場(chǎng)平面半消色差透鏡5X LEXT平面復(fù)消色差透鏡20X、50X、100X
Z對(duì)焦部分行程76 mm
XY載物臺(tái)100 x 100 mm(電動(dòng)載物臺(tái))
SPM部分運(yùn)行模式接觸模式、動(dòng)態(tài)模式、相位模式、電流模式*、表面電位模式(KFM)*、磁力模式(MFM)*
位移檢出系統(tǒng)光杠桿法
光源659 nm半導(dǎo)體激光
檢出設(shè)備光電檢測(cè)器
大掃描范圍X-Y:大 30 μm x 30 μm、Z:大 4.6 μm
安裝微懸臂在盒式微懸臂支架上一鍵安裝。使用微懸臂安裝位置調(diào)整工裝夾具預(yù)對(duì)位,更換支架時(shí)無需光學(xué)調(diào)整。
系統(tǒng)總重量約440 kg(不包含電腦桌)
I額定輸入100-120 V/220-240 V、600 VA、50/60 Hz

*該功能為選項(xiàng)功能。

物鏡 規(guī)格
型號(hào)倍率視場(chǎng)工作距離(W.D.)數(shù)值孔徑(N.A.)
MPLFLN5X108-864X2,560-320μm20.0mm0.15
MPLAPON20XLEXT432-3,456X640-80μm1.0mm0.60
MPLAPON50XLEXT1,080-8,640X256-32μm0.35mm0.95
MPLAPON100XLEXT2,160-17,280X128-16μm0.35mm0.95
微懸臂 規(guī)格
用途型號(hào)類型探針數(shù)量微懸臂探針材質(zhì)金屬膜
涂層
共振頻率
(kHz)
彈簧常數(shù)
(N/m)
高度
(μm)
前端半徑
(nm)
探針/
微懸臂
探針涂層/
反射涂層
動(dòng)態(tài)模式/
相位模式
OMCL-AC160TS-C3標(biāo)準(zhǔn)硅膠2430026147Si / Si無 / Al
OMCL-AC160BN-A2高縱橫比硅膠123004298Si / Si無/無
OMCL-AC240TS-C3低彈簧常數(shù)硅膠24702147Si / Si無/Al
接觸模式OMCL-TR800PSA-1標(biāo)準(zhǔn)氮化硅3473 / 240.57 / 0.152.915SiN / SiN無/Au
表面電位模式OMCL-AC240TM-B3電氣測(cè)量硅膠187021415Si / SiPt/Al

• 微懸臂、探針的機(jī)械特性及尺寸均為代表值。
• 微懸臂非常小,請(qǐng)注意不要傷到眼睛或不小心吞咽。
• 電流模式、磁力模式中使用的微懸臂的詳細(xì)信息,請(qǐng)咨詢經(jīng)銷商。


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