德國蔡司Sigma 系列產(chǎn)品用于高品質(zhì)成像與高級分析的場發(fā)射掃描電子顯微鏡

靈活的探測，4步工作流程，高級的分析性能

將高級的分析性能與場發(fā)射掃描技術(shù)相結(jié)合，利用成熟的 Gemini 電子光學(xué)元件。多種探測器可選：用于顆粒、表面或者納米結(jié)構(gòu)成像。Sigma 半自動(dòng)的4步工作流程節(jié)省大量的時(shí)間：設(shè)置成像與分析步驟，提高效率。

用于清晰成像的靈活探測

• 利用*探測術(shù)為您的需求定制 Sigma，表征所有樣品。
  

• 利用 in-lens 雙探測器獲取形貌和成份信息。
  

• 利用新一代的二次探測器，獲取高達(dá)50%的信號圖像。在可變壓力模式下利用 Sigma 創(chuàng)新的 C2D 和 可變壓力探測器，在低真空環(huán)境下獲取高達(dá)85%對比度的銳利的圖像。
  

自動(dòng)化加速工作流程

• 4步工作流程讓您控制 Sigma 的所有功能。在多用戶環(huán)境中，從快速成像和節(jié)省培訓(xùn)首先，先對樣品進(jìn)行導(dǎo)航，然后設(shè)置成像條件。

• 首先，先對樣品進(jìn)行導(dǎo)航，然后設(shè)置成像條件。
  

• 接下來對樣品感興趣的區(qū)域進(jìn)行優(yōu)化并自動(dòng)采集圖像。后使用工作流程的后一步，將結(jié)果可視化。
  

高級分析型顯微鏡

• 將掃描電子顯微鏡與基本分析相結(jié)合：Sigma 的背散射幾何探測器大大提升了分析性能，特別是對電子束敏感的樣品。

• 在一半的檢測束流和兩倍的速度條件下獲取分析數(shù)據(jù)。

• 獲益于8.5 mm 短的分析工作距離和35°夾角，獲取完整且無陰影的分析結(jié)果。
  

基于成熟的 Gemini 技術(shù)

• Gemini 鏡頭的設(shè)計(jì)結(jié)合考慮了電場與磁場對光學(xué)性能的影響，并將場對樣品的影響降至更低。這使得即使對磁性樣品成像也能獲得出色的效果。
  

• Gemini in-lens 的探測確保了信號探測的效率，通過二次檢測(SE)和背散射(BSE)元件同時(shí)減少成像時(shí)間。
  

• Gemini 電子束加速器技術(shù)確保了小的探測器尺寸和高的信噪比。

用于清晰成像的靈活探測

• 利用新的探測技術(shù)表征所有的樣品。
  

• 在高真空模式下利用創(chuàng)新的 ETSE 和 in-lens 探測器獲取形貌和高分辨率的信息。
  

• 在可變壓力模式下利用可變壓力二次電子和 C2D 探測器獲取銳利的圖像。
  

• 利用 aSTEM 探測器生成高分率透射圖像。
  

• 利用 BSD 或者 YAG 探測器進(jìn)行成份分析。

配件

SmartEDX

為您帶來一體化能譜分析解決方案

如果單采用SEM成像技術(shù)無法全面了解部件或樣品，研究人員就需要在SEM中采用能譜儀（EDS）來進(jìn)行顯微分析。通過針對低電壓應(yīng)用而優(yōu)化的能譜解決方案，您可以獲得元素化學(xué)成分的空間分布信息。得益于：

• 優(yōu)化了常規(guī)的顯微分析應(yīng)用，并且由于氮化硅窗口的透過率，可以探測輕元素的低能X射線。

• 工作流程引導(dǎo)的圖形用戶界面*地改善了易用性，以及多用戶環(huán)境中的重復(fù)性。

• 完整的服務(wù)和系統(tǒng)支持，由蔡司工程師為您的安裝、預(yù)防性維護(hù)及保修提供一站式服務(wù)。

拉曼成像與掃描電鏡聯(lián)用系統(tǒng)

*集成化的拉曼成像

在您的數(shù)據(jù)中加入拉曼光譜及成像結(jié)果，獲得材料更豐富的表征信息。通過擴(kuò)展蔡司Sigma 300，使其具備共聚焦拉曼成像功能，您能夠獲得樣品中的化學(xué)指紋信息，從而指認(rèn)其成分。

• 識別分子和晶體結(jié)構(gòu)信息

• 可進(jìn)行3D分析，在需要時(shí)可關(guān)聯(lián)SEM圖像、拉曼面掃描成像和EDS數(shù)據(jù)。

• *集成RISE讓您體驗(yàn)由*的SEM和拉曼系統(tǒng)帶來的優(yōu)勢。