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日立 FT150系列 熒光X射線鍍層膜厚測量儀

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概要:

使用新開發(fā)的X射線聚光用多毛細(xì)管的產(chǎn)品陣容誕生了。另外,以X射線檢測結(jié)構(gòu)為中心,對各類元件進(jìn)行優(yōu)化,從而大幅提高了檢測靈敏度,在不損失檢測精度的前提下實現(xiàn)了的高處理能力。并且,對設(shè)備進(jìn)行了重新設(shè)計,使得樣本室的使用,以及對檢測點(diǎn)的檢查變得更為容易。



特點(diǎn):

1.顯微領(lǐng)域的高精度檢測
通過采用新開發(fā)的多毛細(xì)管,以及對探測器的優(yōu)化,在實現(xiàn)照射半徑等同于舊有型號FT9500X為30 μm(設(shè)想FWHM: 17 μm)的基礎(chǔ)上,進(jìn)一步將處理能力提高到了2倍以上。


2.產(chǎn)品陣容適應(yīng)各類檢測樣本
針對檢測樣本的不同種類,可在下列3種型號中進(jìn)行選擇。
  ●測量引線架、連接器等各類電子元器件的微型部件、超薄薄膜的型號
  ●能夠處理尺寸為600 mm×600 mm的大型印刷電路板的大型印刷電路板用型號
  ●適合對陶瓷芯片電極部分中,過去難以同時測量的Sn/Ni兩層進(jìn)行高能測量的型號


3.兼顧易操作性與安全性
放大了開口,同時樣本室的門也可單手輕松開閉。從而提高了取出、放入檢測樣本的操作簡便性,并且該密封結(jié)構(gòu)也大大減少了X射線泄漏的風(fēng)險,讓用戶放心使用。


4.檢測部位可見
通過設(shè)置大型觀察窗、修改部件布局,使得樣本室門在關(guān)閉狀態(tài)下亦可方便地觀察檢測部位。


5.清晰的樣本圖像
使用了分辨率比以往更高的樣本觀察攝像頭,采用全數(shù)碼變焦,從而消除位置偏差,可以清晰地觀察數(shù)十μm的微小樣本。
另外,亦采用LED作為樣本觀察燈,無需像以往的機(jī)型那樣對燈泡進(jìn)行更換。


6.新規(guī)
將各類檢測方法、檢測樣本都以應(yīng)用程序圖標(biāo)的形式進(jìn)行了登記。圖標(biāo)皆為檢測樣本的照片、多層膜的圖示等,因此登記、整理起來就很方便,從而使得用戶可以不走彎路,直接進(jìn)行檢測。
使用檢測向?qū)Т翱趤碇笇?dǎo)操作。通過與檢測畫面聯(lián)動,逐步引導(dǎo)用戶執(zhí)行當(dāng)前所需進(jìn)行的工作。

型號名稱:FT150(標(biāo)準(zhǔn)型)FT150h(高能量型)FT150L(大型線路板對應(yīng))


測量元素:原子序數(shù)13(Al)~92(U)
X射線源:管電壓:45 kV
FT150:Mo靶 FT150h:W靶 FT150L:Mo靶
檢測器:Si半導(dǎo)體檢測器(SDD)(無需液氮)
X射線聚光:聚光導(dǎo)管方式
樣品觀察:CCD攝像頭(100萬像素)
對焦:激光對焦、自動對焦
大樣品尺寸:FT150:400(W)×300(D)×100(H)mm
FT150h:400(W)×300(D)×100(H)mm
FT150L:600(W)×600(D)×20(H) mm
工作臺行程:FT150:400(W)×300(D)
FT150h:mm400(W)×300(D)
FT150L:mm300(W)×300(D) mm
操作系統(tǒng):電腦、22英寸液晶顯示屏
測量軟件:薄膜FP法(多5層膜、10元素)、檢量線法、定性分析
數(shù)據(jù)處理:Microsoft Excel、Microsoft Word 安裝
安全功能:樣品門聯(lián)鎖
消耗電量:300 VA以下


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