?產(chǎn)品簡介
MiniLab125是英國MOORFIELD公司一款落地式大尺寸PVD綜合鍍膜系統(tǒng)，采用模塊化設(shè)計，可在一臺儀器上實現(xiàn)電子束蒸發(fā)鍍膜，常規(guī)電阻熱蒸發(fā)鍍膜，低溫?zé)嵴舭l(fā)系統(tǒng)及磁控濺射鍍膜,可用于鍍金屬膜，有機(jī)物薄膜及絕緣材料的單層或者多層功能膜與復(fù)合膜，同時該系統(tǒng)還可加載等離子源，刻蝕系統(tǒng)與退火系統(tǒng)，是小批量鍍膜客戶的理想選擇。
?產(chǎn)品特性
? 落地式薄膜沉積系統(tǒng)，模塊化設(shè)計
? 多達(dá)6個磁控濺射源，DC與RF可選，用于金屬及絕緣層鍍膜，濺射靶角度連續(xù)可調(diào)，可獨(dú)立/依次/共同濺射
? 多達(dá)10個熱蒸發(fā)源，電阻熱蒸發(fā)源與低溫?zé)嵴舭l(fā)源可選，用于金屬及有機(jī)物鍍膜
? 多坩堝電子束源，用于難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料
? 標(biāo)配預(yù)真空鎖，實現(xiàn)高真空環(huán)境下的樣品傳遞
? 大可支持11英寸樣品
? 樣品臺：可加熱（800℃），冷卻，旋轉(zhuǎn)，升降，偏壓，行星式襯底夾具
? 可加4路反應(yīng)氣體，Ar，N2，O2可選配有MFC控制
? 配置高精度真空規(guī)進(jìn)行壓力全自動控制，真空度低至 <5 × 10-7 mbar
? 配置Inficon SQC-310膜厚測量儀用于薄膜厚度監(jiān)測
? 操作簡單：通過觸屏或計算機(jī)實現(xiàn)全自動操作
? 自定義并可存儲多個recipe
? 操作安全：自帶各種軟硬件互鎖功能
? 售后維護(hù)簡單
? 兼容手套箱與潔凈間
? 可選配離子源：用于樣品預(yù)清洗及納米表面改性
? 可選配高溫退火系統(tǒng)
?應(yīng)用：
該系統(tǒng)用于半導(dǎo)體材料、OLED實驗研究及有機(jī)太陽能薄膜電池實驗研究。廣泛應(yīng)用于高校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。
