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掃描電子顯微鏡 FlexSEM 1000 II

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*的SEM更為緊湊 寬幅僅為45 cm的緊湊型的設(shè)計(jì),仍具備4.0 nm的圖像分辨率。全新開發(fā)的用戶界面和電子光學(xué)系統(tǒng)讓您深切體驗(yàn)其高性能。

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掃描電子顯微鏡 FlexSEM 1000 II

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掃描電子顯微鏡  FlexSEM 1000 II

“*的SEM更為緊湊”
寬幅僅為45 cm的緊湊型的設(shè)計(jì),仍具備4.0 nm的圖像分辨率。
全新開發(fā)的用戶界面和電子光學(xué)系統(tǒng)讓您深切體驗(yàn)其高性能。

  • 特點(diǎn)

  • 規(guī)格

  • 觀察示例

  • 視頻

  • 三維測量軟件

特點(diǎn)

FlexSEM 1000 II,憑借全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和高靈敏度檢測器,可在加速電壓20 kV下實(shí)現(xiàn)4.0 nm的分辨率。全新開發(fā)的用戶界面,具有亮度和對焦自動調(diào)節(jié)功能,可以在短時間內(nèi)進(jìn)行各種觀察。此外,還搭載了全新的導(dǎo)航功能“SEM MAP”,這個功能可彌補(bǔ)電子顯微鏡上難以找準(zhǔn)視野的缺點(diǎn),實(shí)現(xiàn)直觀的視野移動。

  • 盡管是可放置在桌面上的小巧緊湊型*1電子顯微鏡,仍可實(shí)現(xiàn)4.0 nm的分辨率
  • 憑借*的高靈敏度二次電子、背散射電子檢測器、低真空檢測器(UVD*2),可在低加速/低真空下觀察時實(shí)現(xiàn)的畫質(zhì)
  • 全新的用戶界面,無論用戶的熟練程度如何,都可實(shí)現(xiàn)高畫質(zhì)和高處理能力
  • 全新的定位功能“SEM MAP”,支持觀察時的視野搜索和樣品定位
  • 大直徑(30毫米2)無氮EDS檢測器,可快速進(jìn)行元素分析*2
*1
設(shè)置到桌面上時,請將機(jī)體與電源盒分離
*2
選項(xiàng)

小型高性能色譜柱

尺寸雖小,卻具備同類產(chǎn)品中的分辨率。

金顆粒沉積(SE)
金顆粒沉積
加速電壓:20 kV
倍率:60,000倍
信號:SE
分辨率:4 nm

金顆粒沉積(BSE)
金顆粒沉積
加速電壓:20 kV
倍率:50,000倍
信號:BSE
分辨率:5 nm

高畫質(zhì)

配備可優(yōu)化放射電流的功能,以便在較低的加速電壓下也能獲得足夠的亮度,而獲得噪點(diǎn)小且清晰的圖像。

儲氫合金(SE)
儲氫合金
加速電壓:5 kV
倍率:30,000倍
信號:SE、無金屬涂層

Al-Ni復(fù)合材料(BSE)
Al-Ni復(fù)合材料
加速電壓:3 kV
倍率:10,000倍
信號:BSE、無金屬涂層

可用高畫質(zhì)和快速觀察

搭載GUI和自動調(diào)節(jié)功能,讓初學(xué)者也能得心應(yīng)手。只要按一下自動對焦(AFC)、自動亮度調(diào)節(jié)(ABCC)按鈕,就可以獲得的圖像。(自動調(diào)節(jié):與以往相比,縮短時間約13秒*3)當(dāng)然,也可以通過觸屏進(jìn)行操作。

*3
對比日立SEM SU1510

全新定位系統(tǒng)“SEM MAP”

“SEM MAP”功能可有效實(shí)現(xiàn)觀察時的視野搜索和樣品定位。根據(jù)內(nèi)置攝像頭所拍攝的圖像,定位樣品,一鍵點(diǎn)擊即可移動到觀察部位。
在SEM MAP上導(dǎo)入的圖像會自動進(jìn)行粘貼,并以分布圖的形式顯示。

可放置在桌面上的緊湊型電子顯微鏡

寬幅僅為45厘米,緊湊型設(shè)計(jì),地減小占用空間。機(jī)體僅支持AC100 V 3P電源插座。此外,機(jī)體和電源盒可以分離,從而大幅度提升諸如桌面設(shè)置等的布局靈活性。


FlexSEM 1000 II

規(guī)格

項(xiàng)目內(nèi)容
分辨率*34.0 nm(二次電子像、加速電壓:20 kV、高真空模式)
15.0 nm(二次電子像、加速電壓:1 kV、高真空模式)
5.0 nm(背散射電子像、加速電壓:20 kV、低真空模式)
加速電壓0.3 kV~20 kV
倍率×6~×300,000 (照片倍率)
×16~×800,000 (顯示器顯示倍率)
低真空設(shè)置6~100 Pa
電子槍集中燈箱(Pre-Centered Cartridge Filament)
樣品臺3軸馬達(dá)驅(qū)動樣品臺
X:0~50 mm、Y:0~40 mm、Z:5~15 mm
T:-15~90°、R:360°
大可觀察范圍:直徑64mm(R聯(lián)用)*4
大樣品尺寸直徑80 mm(選配:直徑153mm)
大樣品高度40 mm
尺寸機(jī)體:450(寬度)×640(進(jìn)深)×690(高度) mm
電源盒:450(寬度)×640(進(jìn)深)×450(高度) mm
選項(xiàng)
  • 高敏感度低真空檢測器(UVD2.0)
  • 能量色散型X射線檢測器(EDS)
軟件Multi Zigzag(連續(xù)視野圖像導(dǎo)入功能)
*
PC、桌子、監(jiān)控器由客戶準(zhǔn)備
*3
機(jī)體和電源盒連接時候
*4
使用標(biāo)準(zhǔn)支架時

觀察示例

半導(dǎo)體

焊線

焊線
加速電壓:5 kV
真空度:30 Pa
倍率:1,000倍
信號:BSE、無金屬涂層

焊線
加速電壓:5 kV
真空度:30 Pa
倍率:5,000倍
信號:BSE、無金屬涂層

材料

二硫化鎢

FlexSEM 1000 II采用新型偏壓系統(tǒng),可在低加速電壓下獲得高放射電流。從而,在低加速電壓下也能實(shí)現(xiàn)同類產(chǎn)品中的圖像清晰度(S/N)。


加速電壓:15 kV
倍率:10,000倍
信號:SE、無金屬涂層


加速電壓:3 kV
倍率:10,000倍
信號:SE、無金屬涂層

水泥


加速電壓:3 kV
倍率:15,000倍
信號:SE、無金屬涂層

黃銅礦


加速電壓:5 kV
真空度:40 Pa
倍率:1,000倍
信號:BSE、無金屬涂層

生物

蝴蝶翅膀斷面

加速電壓:15 kV
加速電壓:5 kV
倍率:40,000倍
信號:SE、有金屬涂層

花粉

加速電壓:3 kV
加速電壓:5 kV
真空度:60 Pa
倍率:500倍
信號:UVD、無金屬涂層

視頻

寬度僅為45厘米的緊湊型電子顯微鏡,仍具備4.0 nm的圖像分辨率!

 

全新開發(fā)的用戶界面和電子光學(xué)系統(tǒng)讓您深切體驗(yàn)其高性能

三維測量軟件

Hitachi map 3D(選項(xiàng))

利用SEM上4分割背散射電子檢測器所獲得的信號,可計(jì)算4個方向的表面形狀,從而無需進(jìn)行樣品傾斜和視野對位,即可構(gòu)建三維模型。
Hitachi map 3D支持多個國家的語言,具備用于調(diào)節(jié)樣品位置的各種校正功能、以及可追溯測量過程的測量系統(tǒng)、符合ISO標(biāo)準(zhǔn)的表面粗糙度(面粗糙度、線粗糙度)的測定、此外還包括表面積、體積等其他測量功能以及報(bào)告輸出等功能。

詳情請瀏覽“日立*領(lǐng)域”頁面。

  • Hitachi map 3D

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  • 臺式電子顯微鏡
  • TEM/SEM樣品的前處理裝置


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