產(chǎn)品型號

1200℃開啟式立式爐OTF-1200X-80-VT

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×700mm，承重100kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體，配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體表面溫度<55℃。

2、開啟式爐體更方便于爐管的更換。

3、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高反射率和潔凈度，同時(shí)延長使用壽命。

4、PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序。

5、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：AC 220V  50Hz  6KW

2、石英管：外徑Ø80mm，內(nèi)徑Ø72mm，長1000mm

3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯

4、加熱區(qū)域：440mm

5、工作溫度：極限溫度1200℃（<1h），連續(xù)工作1100℃

6、大升降溫速率：20℃/min

7、控溫精度：±1℃

8、真空度：10^-2torr（機(jī)械泵），10^-5torr（分子泵）

9、漏氣率：<5mtorr/min

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：550mm×380mm×520mm；重量：80kg

可選配件

1、鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm

2、防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)

3、KF25轉(zhuǎn)接頭

4、VCR雙卡套接頭

5、滑軌法蘭

6、移動(dòng)爐架