工作方式真空輝光等離子用途表面清洗、刻蝕、活化、改性
功率600（W）品牌戈德爾 Guarder
工作頻率13.56MHZ（Hz）

技術(shù)參數(shù)

>>設(shè)備外形尺寸:（不包括報(bào)警燈）650（W）×900（D）×1650（H）mm

>>真空倉體尺寸:（約100升） 420（W）×420（D）×570（H）mm

>>倉體結(jié)構(gòu):（不銹鋼材質(zhì)） 9層鋁合金放電電極,陽極氧化處理

>>等離子發(fā)生器:  美國COMDEL射頻電源,功率0-600W連續(xù)調(diào)節(jié),自動(dòng)阻抗匹配，全電路保護(hù)，可連續(xù)長時(shí)間工作。

>>控制系統(tǒng):PLC觸摸屏全自動(dòng)控制，采用歐姆龍、施耐德等進(jìn)口品牌電器元件,有手動(dòng)、自動(dòng)兩種控制模式，12”真彩 觸摸屏，西門子可編程控制器，可在線設(shè)定、修改、監(jiān)控真空壓力、處理時(shí)間、氣體流量、等離子功率等工藝參數(shù)，并具有故障報(bào)警、工藝存儲(chǔ)、密碼鎖定、系統(tǒng)維護(hù)等多種功能。

>>真空系統(tǒng):日本愛發(fā)科旋片真空泵 601 17L/S 中國臺(tái)灣新萊氣動(dòng)角閥、充氣閥、德國英?？蹈呔日婵沼?jì)、傳感器

>>充氣系統(tǒng): 美國AE高精度電子質(zhì)量流量計(jì)（兩路氣體配制）、針閥 美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級(jí)減壓閥 日本SMC及CKD高真空氣閥組件