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OTF-1200X-4-RTP 1000°C小型RTP爐

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1000°C小型RTP爐 是一款精巧型快速熱處理管式爐,配有4“石英管和真空法蘭,它是專為半導(dǎo)體和太陽能電池基片(頂值為3“)的退火而設(shè)計,采用10KW紅外燈管加熱快速升溫的頂值速度為50°C/秒,30段溫度控制,精度為+/-1°C,計算機(jī)通過RS485口和控制軟件實(shí)時控制爐子和顯示溫度曲線。

詳細(xì)信息 在線詢價

爐體結(jié)構(gòu)雙層莫來石鋼構(gòu)(不帶水冷或風(fēng)冷) 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命
加熱元件 8根紅外燈管 (D=10 L=300 T=200,mm)
加熱區(qū)12" length with 4"X12"恒溫區(qū)(+/-5℃)
石英管和樣品架石英管尺寸∶4.33" O.Dx4.05"LDx15"Length"的樣品架固定在滑動法蘭上,石英材料一片3" AIN 片放在樣品架上用來放置需要退火的樣品。 AN 具有很高的熱導(dǎo)率,所以在樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性+-5℃
真空法蘭帶KF-D25 高真空法蘭由不銹鋼制作,兩個高溫"O"型圈密封滑骨動法蘭使裝載樣品很容易.3" 樣品架和內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準(zhǔn)確。
水冷如果要求通冷卻水. 請確定冷卻水流速≥ 3L/min,水溫< 20℃C;水壓>25 PSI我們建議采用 循環(huán)水制冷器作為冷卻系統(tǒng)(為了節(jié)約用水). 警告∶這款 RTP 爐在1000℃~1100℃C下保溫時間不超過600秒,否則"O°圈將被燒融
流量計范圍∶ 16- 160 ml/min
真空表標(biāo)配∶數(shù)字真空表,測量范圍;10mtorr~800 tor。注意∶此表是在氮?dú)庀滦?zhǔn)的,只有在氮?dú)夂涂諝庀卤砩巷@示的是實(shí)際壓力,當(dāng)通入任何其他氣體時,必須參考說明書中的相對氣體對照表,否則后果會很嚴(yán)重。 向選∶本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-.5至1125Torn.不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
真空度

用機(jī)械泵真空度達(dá) 50 mtorr.

用分子泵真空度可達(dá) 10-4 tor. 

溫度控制PID 自動控制,可控硅 SCR
熱偶進(jìn)口K 型熱偶,緊貼在放樣品的AIN片下。
溫度儀 PID自動控制,30段程序帶過熱和斷偶保護(hù)功能熱偶∶進(jìn)口K type自整定功能控溫精度∶ +/- 1°℃ RS485 串口和溫控軟件(模塊和數(shù)據(jù)線需要另購)
升溫速度頂值室溫~800℃∶ 50C/sec,800℃~1000℃∶ 10C/sec
升溫曲線直接升溫到1000℃;分階段升溫數(shù)據(jù) 
降溫速度頂值60℃/min (在 200 mtorr下, 117℃/min(在一個大氣壓下) 選擇∶為得到較快的降溫速度<10℃/秒,你可以選擇帶滑軌的 RTP爐
溫度溫度頂值1100℃,額定1000℃
電源208-240 AC,50/60 Hz 單相, 功率頂值9KW (> 60A 保險)
注意此爐可以增加鍍SiC的石墨坩堝改造成RTE(快速熱蒸發(fā))爐(可查看下方的圖片自己制備RTE)
尺寸760 X330 X 530 mm (30"長x13"寬x21"高)
重量45 kg (100 Ibs)
保修期電器部分一年質(zhì)保期 (耗材∶如爐管,"O"型圈和加熱燈管等不在保修范圍內(nèi))
認(rèn)證CE認(rèn)證 所有電器元件(>24V)都通過了ULMET/CSA認(rèn)證 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
國家名稱∶一種快速高溫退火爐編-2011-2-0077168.4尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權(quán)必究
使用注意事項(xiàng)

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加準(zhǔn)確安全

當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相,保在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200sCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊石英管的長時間使用溫度<1100℃ 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

 

南京淳寅嘉生物科技有限公司

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手機(jī):17705151334

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