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上海伯東代理美國 進口 KRI 考夫曼離子源 KDC 160是目前考夫曼 KDC 系列 ,離子能量 的柵極離子源
KRI 考夫曼離子源 KDC 160
上海伯東代理美國 進口 KRI 考夫曼離子源 KDC 160是目前考夫曼 KDC 系列最da,離子能量強的柵極離子源, 適用于已知的所有離子源應(yīng)用, 離子源 KDC 160 高輸出設(shè)計,最da電流超過 1000 mA. 無需水冷, 降低安裝要求并排除腔體漏水的幾率, 雙陰極設(shè)計,標準配置下離子能量范圍 100 至 1200ev, 離子電流可以超過 800 mA.
KRI 考夫曼離子源 KDC 160 技術(shù)參數(shù)
型號
KDC 160
供電
DC magnetic confinement
- 陰極燈絲
2
- 陽極電壓
0-100V DC
電子束
OptiBeam™
- 柵極
專用, 自對準
-柵極直徑
16 cm
中和器
燈絲
電源控制
KSC 1212
配置
-
- 陰極中和器
Filament, Sidewinder Filament 或LFN 2000
- 安裝
移動或快速法蘭
- 高度
9.92'
- 直徑
9.1'
- 離子束
聚焦
平行
散設(shè)
-加工材料
金屬
電介質(zhì)
半導(dǎo)體
-工藝氣體
惰性
活性
混合
-安裝距離
8-45”
- 自動控制
控制4種氣體
* 可選: 可調(diào)角度的支架
KRI 考夫曼離子源 KDC 160 應(yīng)用領(lǐng)域
濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC
輔助鍍膜(光學鍍膜)IBAD
表面改性, 激活 SM
離子濺射沉積和多層結(jié)構(gòu) IBSD
離子蝕刻 IBE
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