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大行程納米平移臺（壓電馬達(dá)型，10-150mm行程）

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公司名稱 上海昊量光電設(shè)備有限公司
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更新時(shí)間 2023/2/10 22:28:25
訪問次數(shù) 101

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動化，降低對人的依賴。

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納米級高速大行程XLS系列線性，是由超聲波驅(qū)動，可提供不同行程的精確定位

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納米級高速大行程

XLS系列線性，是由超聲波驅(qū)動，可提供不同行程的精確定位。由于采用超聲波馬達(dá)驅(qū)動，速度可達(dá)到200mm/s，并且該平臺適用于掃描，可提供恒定的掃描速度，速度不穩(wěn)定性低于2%。

該平臺采用超聲波馬達(dá)，對于這種馬達(dá)平臺的運(yùn)動是通過接觸點(diǎn)的橢圓振蕩產(chǎn)生。如下圖所示。通過橢圓的振蕩推動平臺產(chǎn)生微小移動，并通過高頻率產(chǎn)生的速度，并且沒有噪聲，電機(jī)在定位后可產(chǎn)生自鎖，由于馬達(dá)在橢圓振蕩的上端才會與平臺接觸，大大提高平臺的使用壽命通常在10-100km。

XLS系列平臺可提供不同的行程，行程范圍可達(dá)到92mm。為了適應(yīng)不同精度要求的應(yīng)用，平臺集成不同精度的，根據(jù)閉環(huán)系統(tǒng)中傳感器的精度可分為以下幾類線性平臺

1）集成-1250位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺-min setp1250nm，

	XLS-1-40	XLS-1-50	XLS-1-60	XLS-1-70	XLS-1-80	XLS-1-100	XLS-1-120	Unit
travel range	27	32	37	42	50	72	92	mm
resolution	1250							nm
unidirectional repeatability	±1250							nm
bidirectional repeatability	±2500							nm
load capacity	0.5							kg
holding force	1							N
driving force	1							N
max. speed	200							mm/s
min. speed	2 to 5							mm/s
cable length	1.5							m

2）集成-312位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺-min setp350nm

	XLS-1-40	XLS-1-50	XLS-1-60	XLS-1-70	XLS-1-80	XLS-1-100	XLS-1-120	Unit
travel range	27	32	37	42	50	72	92	mm
resolution	350							nm
unidirectional repeatability	±350							nm
bidirectional repeatability	±700							nm
load capacity	0.5							kg
holding force	1							N
driving force	1							N
max. speed	200							mm/s
min. speed	2 to 5							mm/s
cable length	1.5							m

3) 集成-78位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺-min setp80nm

	XLS-1-40	XLS-1-50	XLS-1-60	XLS-1-70	XLS-1-80	XLS-1-100	XLS-1-120	Unit
travel range	27	32	37	42	50	72	92	mm
resolution	80							nm
unidirectional repeatability	±80							nm
bidirectional repeatability	±160							nm
load capacity	0.5							kg
holding force	1							N
driving force	1							N
max. speed	200							mm/s
min. speed	2 to 5							mm/s
cable length	1.5							m

4) 集成-1位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺-min setp25nm

	XLS-1-40	XLS-1-50	XLS-1-60	XLS-1-70	XLS-1-80	XLS-1-100	XLS-1-120	Unit
travel range	27	32	37	42	50	72	92	mm
resolution	25							nm
unidirectional repeatability	±25							nm
bidirectional repeatability	±50							nm
load capacity	0.5							kg
holding force	1							N
driving force	1							N
max. speed	200							mm/s
min. speed	2 to 5							mm/s
cable length	1.5							m