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超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

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公司名稱 日立集團(tuán)
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更新時(shí)間 2023/2/16 9:35:37
訪問(wèn)次數(shù) 82

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開(kāi)模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開(kāi)模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴。

現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*1，可以獲得高穩(wěn)定的束流。通過(guò)優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng)，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。此外，為充分發(fā)揮超高分辨的能力，放大倍率也從過(guò)去的100萬(wàn)倍提升到200萬(wàn)倍*1。Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能，通過(guò)此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號(hào)的檢測(cè)原理，幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能。*1Regulus8240/8230/8220

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超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

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超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍^*1，可以獲得高穩(wěn)定的束流。

通過(guò)優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng)，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

此外，為充分發(fā)揮超高分辨的能力，放大倍率也從過(guò)去的100萬(wàn)倍提升到200萬(wàn)倍^*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能，通過(guò)此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號(hào)的檢測(cè)原理，幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能。

*1: Regulus8240/8230/8220

特點(diǎn)
規(guī)格

特點(diǎn)

沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍^*2
采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
采用污染小、高真空樣品倉(cāng)
運(yùn)用能量過(guò)濾器(選配)，可觀察到多種成分對(duì)比度^*2

極低著陸電壓下高分辨觀察

極低著陸電壓下高分辨觀察
樣品：金顆粒
著陸電壓：10 V

超高分辨觀察

超高分辨觀察
樣品：Pt催化劑
加速電壓：30 kV

低加速電壓下高分辨EDX分析

低加速電壓下高分辨EDX分析
樣品：Sn球
著陸電壓：1.5 kV

*2: Regulus8240/8230/8220

規(guī)格

項(xiàng)目			Regulus 8100	Regulus 8220	Regulus 8230	Regulus 8240
二次電子分辨率			0.7 nm （加速電壓15 kV） 0.8 nm （著陸電壓1 kV）^*3	0.6 nm（加速電壓 15 kV） 0.7 nm（著陸電壓 1 kV）^*3
著陸電壓			0.1～2 kV	0.01～20 kV
放大倍率			20～1,000,000倍^*4	20～2,000,000倍^*4
樣品臺(tái)	樣品臺(tái)控制		3軸馬達(dá)臺(tái)（可選5軸馬達(dá)臺(tái)）	5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
	移動(dòng)范圍	X	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～110 mm
		Y	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～80 mm
		R	360°
		T	-5～70°
		Z	1.5～30 mm		1.5～40 mm
	再現(xiàn)性		-	-	-	±0.5 µm以下含±0.5 µm

*3: 減速模式下觀察
*4: 以127 mm × 95 mm底片為基準(zhǔn)的倍率