“55mm 系列”— Linear55-x-Slim (閉環(huán)控制)
低溫 · 壓電運(yùn)動(dòng)- 線性位移系列
納米級(jí)壓電位移臺(tái)Linear55-x-Slim主要特征
• 緊湊設(shè)計(jì), 尺? : 55*55*10.5 mm
• 超?真空 & 超低溫兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK
• ?磁材料(純 Ti & BeCu),最?兼容 18 Tesla 磁場
• 超?負(fù)載 & 超?推? : 2500 g & 3 N
• ??程 : 30 mm
• 閉環(huán)控制,內(nèi)置位置傳感器, 最?位置分辨率 0.1 um
納米級(jí)壓電位移臺(tái)Linear55-x-Slim?維尺?
Linear55-x-Slim, SpeciTcation
*所有數(shù)據(jù)均通過50歐姆線纜測量. 雖然對(duì)導(dǎo)線的電導(dǎo)率沒有要求,但我們建議電阻低于50歐姆。
可選版本 ? | .HV (默認(rèn)) | .ULT | .UHV | .ULT.UHV |
| .HV ?真空版本,默認(rèn)產(chǎn)品; .ULT 超低溫版本, 兼容氦-3制冷系統(tǒng) & 稀釋制冷機(jī) .UHV 超?真空版本, 最?兼容 2E-11 mbar |
1 三維尺? | 55.× 55 mm × 10.5 mm |
2 質(zhì)量 | 130 g |
適?環(huán)境范圍 |
3 基礎(chǔ) | 溫度范圍: 1.4 ~ 400 K 最di真空度: 2e-7 mbar 最?磁場: 18 Tesla |
4 可選1 - 30 mK |
| ? |
| ? |
5 可選2 - 2e-11 mbar |
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| ? | ? |
材質(zhì) |
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6 主體 | Pure Ti | BeCu | Pure Ti | BeCu |
7 線纜 | 磷?銅雙絞線,20cm |
8 針腳材質(zhì) | 聚酯材料(玻璃纖維填充), BeCu | Peek, BeCu |
9 針腳數(shù)量 | 驅(qū)動(dòng) -2 pins,傳感 - 3 pins |
運(yùn)動(dòng)參數(shù) |
10 ?程 | 30 mm |
11 最?運(yùn)動(dòng)速度 @300 K | ~ 2 mm/s |
12 驅(qū)動(dòng)電壓 | Max. 200 V |
13 最?負(fù)載 | 2500 g |
14 最?推? | 3 N |
傳感器(閉環(huán)) |
15 位置傳感器 | 電阻傳感 |
16 傳感器?程 | 30 mm |
17 傳感器分辨率 | ~ 150 nm |
18 重復(fù)定位精度 | 1 - 2 um |