PAC Alcor開(kāi)發(fā)了超快速“橢圓偏振法航煤氧化加熱管操作簡(jiǎn)單, 數(shù)據(jù)輸出、儲(chǔ)存方便掃描評(píng)定儀”(簡(jiǎn)稱OptiReader)。該儀器通過(guò)全2D和3D厚度掃描技術(shù)測(cè)定加熱管上沉積厚度和體積, 得出快速、精確和準(zhǔn)確的“合格/不合格”評(píng)定結(jié)果。操作界面簡(jiǎn)單、直觀，可入門，為用戶節(jié)約時(shí)間和成本。

無(wú)需培訓(xùn)

操作簡(jiǎn)單、入門
10.8 英寸彩色觸摸屏，直觀又簡(jiǎn)便
一鍵式操作
無(wú)須目測(cè)確認(rèn)

操作簡(jiǎn)單, 數(shù)據(jù)輸出、儲(chǔ)存方便

高精準(zhǔn)度

優(yōu)于ASTM D3241方法
通過(guò)一套( 5 支)原子層沉積標(biāo)準(zhǔn)管 (ALD)驗(yàn)證結(jié)果

重復(fù)性小于2nm, 再現(xiàn)性小于4nm

在評(píng)定中最小化人為錯(cuò)誤

數(shù)值掃描

顯示 合格/不合格 評(píng)定結(jié)果

可測(cè)量加熱管沉積厚度和沉積體積

JFTOT & OptiReader 數(shù)據(jù)一致的報(bào)告

擁有智能加熱管的數(shù)據(jù)集成技術(shù)

評(píng)定

10分鐘內(nèi)完成全掃描
自動(dòng)結(jié)果驗(yàn)證