產(chǎn)品信息

    特　點

   ●采用分光干涉法

   ●搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)（ 第4834847號）

   ●使用光學光纖，可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng)

   ●可嵌入至各種制造設備。

   ●實時測量膜厚

   ●可對應遠程操作、多點測量

   ●采用壽命長、安全性高的白色LED光源

    測量項目

   ●多層膜厚解析

    用　途

   ●光學薄膜（超硬涂層、AR薄膜、ITO等）

   ●FPD相關（光刻膠、SOI、SiO2等）