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倒置顯微鏡直線電機(jī)平臺

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MSLM-120X100-INXY-E50倒置顯微鏡直線電機(jī)平臺匹配顯微鏡型號:OLYMPUSIX53/73/83NIKONTi接受其它顯微鏡型號定制MSLM-100X100-INXY-E50工業(yè)顯微鏡直線電機(jī)平臺是專門針對主流研究級倒置顯微鏡設(shè)計開發(fā)的產(chǎn)品

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MSLM-120X100-INXY-E50倒置顯微鏡直線電機(jī)平臺

匹配顯微鏡型號:

OLYMPUS IX53/73/83

NIKON Ti

接受其它顯微鏡型號定制

MSLM-100X100-INXY-E50工業(yè)顯微鏡直線電機(jī)平臺是專門針對主流研究級倒置顯微鏡設(shè)計開發(fā)的產(chǎn)品,相比傳統(tǒng)的絲桿驅(qū)動平臺,它具有精度更佳、響應(yīng)更快、速度更高、壽命更長的優(yōu)點(diǎn)。而且由于直線電機(jī)屬于非接觸式直驅(qū)機(jī)構(gòu),幾乎無噪音,是傳統(tǒng)顯微鏡平臺的優(yōu)化升級產(chǎn)品。

主要尺寸及性能參數(shù):

●行程:120mm x 100mm



●光柵分辨率:50nm

●最小步長:100nm

●重復(fù)定位精度:≤±250nm

●速度:≥300mm/s

●導(dǎo)軌類型:交叉滾柱導(dǎo)軌

●負(fù)載:≥5kg

●直驅(qū)機(jī)構(gòu),無回程間隙

●主體材質(zhì):航空級鋁合金

●表面處理:上滑臺面噴砂及硬質(zhì)陽極氧化,其余結(jié)構(gòu)件普通陽極氧化


產(chǎn)品型號命名規(guī)則:

MSLM - 120X100 - INXY - E50

1 2 3 4

1MSLM是直線電機(jī)顯微鏡平臺的英文縮寫

2120x100代表著該型號產(chǎn)品的有效行程,單位mm,如需其它行程,可聯(lián)系廠家溝通定制

3INXY代表工作軸方向及類型,IN是INVERT倒置的意思,默認(rèn)按照笛卡爾坐標(biāo)系確認(rèn)方向

4E50代表該型號產(chǎn)品光柵的分辨率,單位nm,默認(rèn)產(chǎn)品分辨率為50nm,可選20nm/100nm/0.5um/1um/5um等,分辨率的改變會導(dǎo)致平臺速度以及重復(fù)定位精度的變化,詳細(xì)情況請進(jìn)一步咨詢廠家


特別注意事項:

1、直線電機(jī)平臺屬于高精度精密設(shè)備,因此如果希望得到性能,需要保證足夠的使用環(huán)境,尤其在使用要求重復(fù)定位精度小于1um的設(shè)備上,所有指標(biāo)的復(fù)現(xiàn)都需要滿足一定的溫度、濕度、氣壓、振動等,詳細(xì)要求可進(jìn)一步聯(lián)系廠家咨詢溝通

2、所有平臺可單獨(dú)訂購,如對設(shè)備的精度以及性能要求較高,推薦使用奧正智能自主生產(chǎn)的MCS控制器系列,搭配MCS系列控制器出貨的產(chǎn)品,在出廠檢驗(yàn)中都會做針對性的優(yōu)化和校準(zhǔn),是您高要求使用的。








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