4200-SCS是一款能進(jìn)行器件、材料或過(guò)程電氣特性分析的模塊化全集成參數(shù)分析儀。利用9個(gè)測(cè)量槽和內(nèi)置低噪聲接地單元，您可以根據(jù)測(cè)試要求或預(yù)算限制進(jìn)行精密配置。
4200-SCS型半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng)- 集成前沿的脈沖能力和精密DC測(cè)量，用于65nm節(jié)點(diǎn)及更小尺寸，容易使用的4200-SCS型半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng)用于實(shí)驗(yàn)室級(jí)的器件直流參數(shù)測(cè)試、實(shí)時(shí)繪圖與分析，具有高精度和亞f的分辨率。它提供了的系統(tǒng)集成能力，包括完整的嵌入式PC機(jī)，Windows操作系統(tǒng)與大容量存儲(chǔ)器。其自動(dòng)記錄、點(diǎn)擊式接口加速并簡(jiǎn)化了獲取數(shù)據(jù)的過(guò)程，這樣用戶(hù)可以更快地開(kāi)始分析測(cè)試結(jié)果。其它一些特征使得應(yīng)力測(cè)量功能能夠滿足各種可靠性測(cè)試的需求。 可選儀器：
* 4225-PMU超快I-V模塊
* 4220-PGU脈沖發(fā)生器單元（僅電壓源）
* 4225-RPM遠(yuǎn)程放大器/開(kāi)關(guān)
* 4200-SMU中等功率源測(cè)量單元
* 用于4200-SCS的4210-SMU高功率源測(cè)量單元
* 用于4200-SMU和4210-SMU的4200-PA遠(yuǎn)程前置放大器選件
* 4200-SCP2雙通道示波器卡
* 4200-SCP2HR 200MS雙通道示波器卡
超快I-V應(yīng)用套件：
* 4225-PMU超快I-V模塊
直觀的、點(diǎn)擊式Windows操作環(huán)境 - * 的遠(yuǎn)端前置放大器，將SMU的分辨率擴(kuò)展至 0.1fA
- * 用于高級(jí)半導(dǎo)體測(cè)試的新型脈沖與脈沖式I-V功能
- * 集成了示波與脈沖測(cè)量功能的新型示波卡
- * 內(nèi)置PC提供快速的測(cè)試設(shè)置、強(qiáng)大的數(shù)據(jù)分析、制圖與打印、以及測(cè)試結(jié)果的大容量存儲(chǔ)
- * 的瀏覽器風(fēng)格的軟件界面，根據(jù)器件的類(lèi)型來(lái)安排測(cè)試，可以執(zhí)行多項(xiàng)測(cè)試并提供測(cè)試序列與循環(huán)控制功能
- * 內(nèi)置了Stress/Measure，循環(huán)和數(shù)據(jù)分析功能，通過(guò)鼠標(biāo)點(diǎn)擊方式就可進(jìn)行可靠性測(cè)試，包括5個(gè)JEDEC規(guī)范的樣品測(cè)試
- * 支持 Keithley590 型與 Agilent 4284/4294型C-V儀、Keithley開(kāi)關(guān)矩陣與Agilent 81110脈沖發(fā)生器等多種外圍設(shè)備
- * 硬件由 Keithley交互式測(cè)試環(huán)境（KITE）來(lái)控制，用戶(hù)測(cè)試模塊功能，可用于外接儀表控制與測(cè)試平臺(tái)集成，是KITE功能的擴(kuò)充
- * 包括驅(qū)動(dòng)軟件，支持CascadeMicrotech Summit 12K系列、Karl Suss PA-200和PA-300，Micromanipulator 的8860自動(dòng)和手動(dòng)探針臺(tái)
- * 支持的半導(dǎo)體模型參數(shù)提取，包括IC-CAP和Cadence BSIMProPlus/Virtuoso
