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XTU-50B專業(yè)性能型膜厚儀_鍍層測厚儀、膜厚測試儀

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微聚焦加強(qiáng)型X射線裝置:可測試各類極微小的樣品

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微聚焦加強(qiáng)型X射線裝置:可測試各類極微小的樣品,即使檢測面積為0.008mm2的樣品也可輕松、精準(zhǔn)檢測

變焦裝置及位置補(bǔ)償算法:可對各種異性凹槽進(jìn)行檢測,凹槽深度測量范圍可達(dá)0-30mm

自主研發(fā)EFP算法:多層多元素、各種元素及有機(jī)物,甚至有同種元素在不同層也可精準(zhǔn)測量

微米級移動精度:高精密XY移動滑軌,實現(xiàn)多點位、多樣品的精準(zhǔn)位移和同時檢測,移動精度可達(dá)5um,輕松應(yīng)對極微小樣品檢測

的解譜技術(shù):減少能量相近元素的干擾,降低檢出限


XTU-50B是一款專業(yè)性能型鍍層測厚儀/膜厚測試儀/光譜測厚儀,采用下照式C型腔體設(shè)計,設(shè)計結(jié)構(gòu)緊湊,模塊精密化程度高。微聚焦加強(qiáng)型X射線裝置:可測試各類極微小的樣品,即使檢測面積為0.008mm2的樣品也可輕松、精準(zhǔn)檢測變焦裝置及位置補(bǔ)償算法:可對各種異性凹槽進(jìn)行檢測,凹槽深度測量范圍可達(dá)0-30mm自主研發(fā)EFP算法:多層多元素、各種元素及有機(jī)物,甚至有同種元素在不同層也可精準(zhǔn)測量微米級移動


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