GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀，特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜（如Ti、Al 、Au等），也可蒸鍍各種氧化物材料。本機設有4個蒸鍍加熱舟，且每個蒸鍍舟都帶有擋板。若更改部分配置也可實現(xiàn)對有機材料的蒸發(fā)鍍膜，可滿足發(fā)光器件及有機太陽能電池方面的研究要求，是一款鍍膜效果理想且性價較高的實驗設備。

GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀，特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜（如Ti、Al 、Au等），也可蒸鍍各種氧化物材料。本機設有4個蒸鍍加熱舟，且每個蒸鍍舟都帶有擋板。若更改部分配置也可實現(xiàn)對有機材料的蒸發(fā)鍍膜，可滿足發(fā)光器件及有機太陽能電池方面的研究要求，是一款鍍膜效果理想且性價較高的實驗設備。

主要特點

1、真空控制單元全部集合在一個控制盒內。

2、采用獨立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。

3、真空腔體設有1個KF40旁抽閥（直接與前級機械泵相連，方便快速取放樣品，提高效率）、1個CF150閘板閥（直接與

   分子泵相連）、1個KF16法蘭（安裝電阻規(guī)）、5個CF35法蘭（1個安裝電離規(guī)，4個備用，便于安裝其他設備）。

4、在腔體底部配有5個水冷電極，可支持4個蒸鍍加熱舟。

5、4個蒸鍍加熱舟上方配有獨立的可移動擋板，有效地避免蒸發(fā)時相互污染。

6、樣品臺安裝在腔體的頂部。

7、腔內可裝高分辨率的薄膜測厚儀，精度為10埃。

8、可使用循環(huán)水冷機。

技術參數(shù)

1、輸入：單相AC220V，50/60Hz，zui大功率≤3.2KW

2、蒸發(fā)輸出：電壓AC 0-8V連續(xù)可調，zui大蒸發(fā)電流200A

3、真空腔：Φ300mm（內徑）×400mm，不銹鋼，內壁經(jīng)電拋光處理

4、腔門：Φ200mm

5、觀察窗：Φ95mm，采用無氧銅密封圈密封

6、真空泵：高抽速渦輪分子泵，抽速600L/s

7、真空度：5.0×10^-6torr（泵開啟40min后）

8、極限真空度：5.0×10^-7torr （加熱溫度為100℃-150℃）

9、漏率：5.0×10^-7Pa/s

10、樣品臺：Φ140mm

11、蒸發(fā)舟與樣品臺間距：260mm

12、冷卻水需量：15L/min

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：650mm×1200mm×1600mm

重量：600kg