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穩(wěn)定?可靠?高效隔振!ZDH 氣浮支撐腿定義精密設(shè)備 “穩(wěn)基” 新標(biāo)準(zhǔn)

來(lái)源: 北京卓立漢光儀器有限公司    2025年04月25日 15:19  

在國(guó)際貿(mào)易壁壘加劇的局勢(shì)下,卓立漢光作為國(guó)產(chǎn)品牌通過(guò)持續(xù)技術(shù)攻堅(jiān),自主研發(fā)并推出了一款高性能“ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿”,該產(chǎn)品具有隔振性能較好,穩(wěn)定性?xún)?yōu)異等特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于光學(xué)制造、半導(dǎo)體、激光測(cè)試、光電儀器研發(fā)與測(cè)試、生物醫(yī)療、精密機(jī)械制造等領(lǐng)域。

ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿

穩(wěn)定 | 可靠 | 隔振

1.png

主要特點(diǎn)

ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿具有以下幾個(gè)主要特點(diǎn):

1. 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單:ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿采用模塊化設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于維護(hù)。同時(shí),平臺(tái)的基礎(chǔ)部分、空氣源、氣動(dòng)隔振元件和支撐調(diào)節(jié)系統(tǒng)等部分均可獨(dú)立更換或升級(jí),提高了平臺(tái)的可靠性和靈活性。

2. 穩(wěn)定性好:ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿由于采用了高壓空氣進(jìn)行支撐和懸浮,具有較高的穩(wěn)定性。即使在惡劣的振動(dòng)環(huán)境下,平臺(tái)也能保持較高的精度和穩(wěn)定性。

3. 隔振效*顯著:ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿通過(guò)降低平臺(tái)的固有頻率和振幅,有效隔離了來(lái)自地面的振動(dòng)干擾。同時(shí),搭配寬帶阻尼臺(tái)面,進(jìn)一步提高了隔振效果。

4. 適用范圍廣:ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿適用于各種需要高精度和穩(wěn)定性的應(yīng)用場(chǎng)景。例如,在光學(xué)制造領(lǐng)域,平臺(tái)可用于固定和支撐光學(xué)元件;在激光測(cè)試領(lǐng)域,平臺(tái)可用于確保激光系統(tǒng)的穩(wěn)定性和精度;在生物醫(yī)療領(lǐng)域,平臺(tái)可用于支撐顯微鏡等精密儀器。

2.png

技術(shù)參數(shù)

1. 固有頻率:固有頻率是衡量其隔振性能的關(guān)鍵參數(shù)。一般來(lái)說(shuō),固有頻率越低,隔振帶寬越大。ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿的固有頻率范圍在垂直和水平方向上均為1.0~2.0Hz,滿(mǎn)足絕大部分場(chǎng)景的使用。

2. 振幅:振幅反映了平臺(tái)的振動(dòng)幅度,是評(píng)價(jià)隔振效果的重要參數(shù)。通常,振幅越小,平臺(tái)的穩(wěn)定性越好,ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿的振幅一般小于1μm。

3. 調(diào)節(jié)方式:ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿采用自動(dòng)定心調(diào)節(jié)方式,確保平臺(tái)在調(diào)節(jié)過(guò)程中保持水平狀態(tài)。

4. 隔振方式:ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿隔振方式采用空氣薄膜、三線(xiàn)擺桿、混合氣室結(jié)構(gòu)等,適用于多種的應(yīng)用場(chǎng)景。

5. 阻尼方式:ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿的阻尼方式包括多小孔阻尼或微米級(jí)層流阻尼等,阻尼方式的選擇對(duì)平臺(tái)的穩(wěn)定性和隔振效果有重要影響。

3.png

性能參數(shù)

1. 減振效率:減振效率是衡量平臺(tái)隔振效果的重要參數(shù)。一般來(lái)說(shuō),減振效率越高,平臺(tái)的隔振性能越好。ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿在5Hz和10Hz的振動(dòng)頻率下,氣浮隔振平臺(tái)的垂直減振效率一般可達(dá)75%~85%@5Hz,90%~95%@10Hz,水平減振效率可達(dá)90%~94%@5Hz,92%~98%@10Hz。

2. 搭配臺(tái)面的平面度:平面度反映了平臺(tái)臺(tái)面的平整度,是評(píng)價(jià)平臺(tái)加工精度的重要指標(biāo)。一般來(lái)說(shuō),平面度越小,平臺(tái)的加工精度越高,平面度指標(biāo)可達(dá)≤0.05mm/㎡。

3. 搭配臺(tái)面的表面粗糙度:表面粗糙度反映了平臺(tái)臺(tái)面的光滑程度,對(duì)光學(xué)元件的固定和穩(wěn)定性有重要影響。一般來(lái)說(shuō),表面粗糙度越小,平臺(tái)的性能越好,表面粗糙度可達(dá)<0.8μm。

4. 載荷能力:載荷能力是指平臺(tái)能夠承受的最大負(fù)載。一般來(lái)說(shuō),載荷能力越大,平臺(tái)的適用范圍越廣。常見(jiàn)的載荷能力指標(biāo)為300Kg/㎡左右。

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