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勻膠機是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備，膜的厚度取決于勻膠機的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。
選購技巧
從其原理來說，可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節(jié)
旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速誤差很大，對于要求涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。國產(chǎn)的某些勻膠機只能提供轉(zhuǎn)速范圍，并不能精確標定實時的轉(zhuǎn)速。進口的勻膠機雖然大部分能標定轉(zhuǎn)速，但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒有標準認定。建議購買轉(zhuǎn)速控制方面有認定標準的，比如:美國NIST標準等。
真空吸附系統(tǒng)的構造
真空泵一定要無油的，壓力標定準確，國內(nèi)的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況，還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)造成堵塞。用過國產(chǎn)勻膠機的客戶常常會關心怎么清洗的問題，這一點許多國外的勻膠機做得不錯，他們有通過聯(lián)動機制，如果真空吸附力不夠的時候，不會開始旋轉(zhuǎn)。
材質(zhì)的選擇
對于半導體化工行業(yè)的應用來說，材質(zhì)的選擇尤為關鍵，大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因為這種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導致旋涂時，時高時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。例如美國等型號都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆，PTFE)材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點。
旋轉(zhuǎn)涂覆
旋轉(zhuǎn)涂覆所使用的設備是勻膠機。勻膠機有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)薄膜機、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機，總的來說，他們原理都是一樣的，即在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關。
從其原理來說，勻膠機有以下兩個特點。
(1)旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速誤差很大，對于要求涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。目前轉(zhuǎn)速控制方面有認定標準，如美國NIST標準等。
(2)真空吸附系統(tǒng)
真空泵一般采用無油泵，即通常說的干泵，因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況，還會讓滴的膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)造成堵塞。有的勻膠機通過聯(lián)動機制，當真空吸附力不夠時不會開始旋轉(zhuǎn)。這樣可有效避免滴的膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)。
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