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中圖儀器VT6000系列顯微鏡測量儀器以共聚焦技術(shù)為原理，用于測量表面物理形貌，進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、...
VT6000共聚焦激光顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖...
中圖儀器VT6000系列激光共聚焦顯微鏡測量儀在材料生產(chǎn)領(lǐng)域中，是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的光學(xué)檢測儀器。
除出擊的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外，中圖儀器激光共聚焦掃描顯微鏡另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí)，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止...
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