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KOSAK ET200臺(tái)階儀

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KOSAK ET200臺(tái)階儀主要是觸針形狀不同,ET(俗稱Alpha-step)是R 2um/60度鉆石制、AFM 是蝕刻制,故幾乎無(wú)角度。也因此若純粹膜厚兩種都OK,差異是有些細(xì)微表面ET掉不進(jìn)去,故nm以下的表面粗度則以AFM為主。

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主要是觸針形狀不同,ET(俗稱Alpha-step)是R 2um/60度鉆石制、AFM 是蝕刻制,故幾乎無(wú)角度。也因此若純粹膜厚兩種都OK,差異是有些細(xì)微表面ET掉不進(jìn)去,故nm以下的表面粗度則以AFM為主。

主要特性:
一. 再現(xiàn)性與線性度
再現(xiàn)性• • • 可達(dá)0.1nm
線性度• • •針對(duì)不同厚薄樣品,使用同一感度
二. 高解析度
高解析度• • •特別是針對(duì)thin film更佳
縱軸zui高解析度0.1nm
橫軸zui高解析度0.01um
可測(cè)定微細(xì)形狀
三. 低測(cè)定力
低測(cè)定力• • •效果可比擬非接觸
測(cè)定力10 ~ 500uN、1~50mgf 可任意設(shè)置
可測(cè)定軟質(zhì)材料面,如:ITO、COLOR FILTER、SPACER、PI…等
四. 超高真直度
超高真直度• • •可測(cè)定試片之長(zhǎng)距離測(cè)定
追溯性:通過(guò)認(rèn)證工廠,可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ,產(chǎn)品出廠皆檢附出廠校正報(bào)告。
【詳細(xì)咨詢】:北京泰亞賽??萍及l(fā)展有限責(zé)任公司
【產(chǎn)品地址】:
【】:
【公司地址】:北京市朝陽(yáng)區(qū)北苑路172號(hào)歐陸大廈A座1201室


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