產(chǎn)品原理
照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)干涉條紋明暗度解析出被測樣品的相對高度。
產(chǎn)品特點
1. 非接觸、高穩(wěn)定性、高速度測量
2. 高精度測量、結果可作為計量標準：垂直解析度可達0.1nm、水平解析度可達0.1um
3. 大面積測量 自動縫合技術實現(xiàn)大面積高精度測量
4. 功能強大、使用便捷的測量分析軟：PRVision應用軟件可提供多項測量參數(shù)
5. 適用范圍廣泛 可以測量多種類型樣品的表面微細結構
6. 真正意義的免維護及優(yōu)良的性能價格比
軟件功能
1. 硬件控制、二維載物平臺自動控制、光學系統(tǒng)自動聚焦、干涉信號處理
2. 測量結果顯示及各種方式處理：二維平面和三維立體顯示、任意放大或縮小顯示圖像、調(diào)平和多角度自由旋轉(zhuǎn)
3. 粗糙度測量及結果顯示：包括評價區(qū)域位置信息和多種粗糙度評價參數(shù)
4. 線寬測量及結果顯示：采用亞像素插值處理技術，線寬測量精度zui高可達0.1um、表格形式顯示各種線寬結果、根據(jù)事先確定的評判基準，實現(xiàn)線寬自動評判功能
5. 多幅相鄰區(qū)域測量結果自動縫合
應用領域
在眾多高科技研發(fā)及產(chǎn)業(yè)中，諸如半導體、微機電、平面顯示器與電子封裝等，由于微結構表面輪廓的準確性決定產(chǎn)品的功能和效能，在其制成過程中皆需針對微結構的表面輪廓品質(zhì)進行檢測，PR系列產(chǎn)品提供多種表面參數(shù)量測功能如斷差高度、線寬、面積、體積、粗糙度、薄膜厚度及平整度以滿足業(yè)界及研究部門之需求。無論是拋光表面還是粗糙表面，只要反光率超過1%，就能被*檢測出來。半導體硅片及器、MEMS裝置表面、平面液晶顯示器、薄膜厚度、金屬摩擦學、陶瓷基板表面、光學器件表面、其他材料分析及微表面研究。
