產(chǎn)品名稱：
中國光電URE-2000A型光刻機(jī)
URE-2000A型光刻機(jī)
URE-2000A型光刻機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：
◆ 曝光面積：150mm×150mm
◆ 分辨力：0.8-1μm（膠厚2μm的正膠）
◆ 對準(zhǔn)精度：0.6μm
◆ 掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：6mm;Y:6mm
◆ 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
◆ 樣片尺寸：直徑15mm-- 150mm；厚度0.1mm--8mm
◆ 照明均勻性： 3.5%（100mm 范圍）； 5%（ 150mm范圍）
◆ 掩模相對于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X: 5mm; Y: 5mm; : 6度
◆ zui大膠厚：500m(SU8膠，用戶提供勻膠條件)
◆ 光源平行性：3.5
◆ 汞燈功率：1000W（直流）
◆ 曝光設(shè)定方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式0.1s-999.9s任意設(shè)定）
◆ 外形尺寸:1400mm（長）1200mm(寬) 2150mm（高）
技術(shù)參數(shù)配置:
（1）曝光頭
◆冷光橢球鏡
◆1000W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗,長壽命型)
◆XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺
◆光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1
、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（100個(gè)透鏡）、i線濾光片
、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2
◆冷卻風(fēng)扇
◆循環(huán)水冷系統(tǒng)
（2）對準(zhǔn)工件臺
◆掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺
◆掩模樣片相對運(yùn)動(dòng)臺
◆轉(zhuǎn)動(dòng)臺
◆樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成
◆樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，自動(dòng)調(diào)
◆承片臺4個(gè)（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸）
◆掩模夾4個(gè)（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸）
◆基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)
（3）對準(zhǔn)顯微鏡
◆光源（配備品2只）、電源
◆雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體
◆目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個(gè)）
◆物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個(gè)）
（4）CCD對準(zhǔn)系統(tǒng)
◆光源（配備品3只）、電源
◆成像光學(xué)系統(tǒng)
◆數(shù)據(jù)采集卡
◆CCD
（5）電控系統(tǒng)
◆汞燈觸發(fā)電源(1000W直流汞燈)
◆單片機(jī)控制系統(tǒng)
◆控制柜桌
◆計(jì)算機(jī)系統(tǒng)及液晶顯示器(21寸寬屏)
（6）氣動(dòng)系統(tǒng)
◆氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等
◆電磁閥驅(qū)動(dòng)
◆氣動(dòng)儀表
（7）其他附件
◆真空泵一臺（無油泵）
◆空壓機(jī)一臺（*泵）
◆管道
（8）技術(shù)資料
◆使用維修說明書
◆顯微鏡使用說明書
產(chǎn)品名稱：
中國光電URE-2000B型光刻機(jī)
URE-2000B型光刻機(jī)
技術(shù)參數(shù)：
1．技術(shù)參數(shù)
◆曝光面積：110mm×110mm
◆分辨力：0.8μm（膠厚2μm的正膠）
◆對準(zhǔn)精度：±1μm
◆zui大焦厚：600mm（SU8膠，用戶提供檢測條件）
◆曝光波長：365nm
◆光源平行度：2º
◆掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：6mm;Y:6mm
◆掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
◆樣片尺寸：直徑f15mm--f100mm(可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片)
厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)
◆照明均勻性：±3%（f100mm范圍）
◆掩模相對于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X:±5mm; Y:±5mm;q:±6度
◆曝光能量密度：>18mW/cm
◆汞燈功率：1000W（直流）
◆曝光設(shè)定方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式0.1s-999.9s任意設(shè)定）
◆外形尺寸：1400mm（長）´1200mm(寬)´1850mm（高）
配置：
（1）曝光頭
◆ 冷光橢球鏡
◆ 1000W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
◆XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺
◆光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（100個(gè)透鏡）、i線濾光片、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2
◆冷卻風(fēng)扇
（2）對準(zhǔn)工件臺
◆掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺
◆掩模樣片相對運(yùn)動(dòng)臺
◆轉(zhuǎn)動(dòng)臺
◆樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成
◆樣片自動(dòng)調(diào)焦機(jī)構(gòu)
◆承片臺4個(gè)（Ø15mm 、2英寸、3英寸、4英寸）
掩模夾4個(gè)（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）
◆掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)
（3）對準(zhǔn)顯微鏡及CCD對準(zhǔn)系統(tǒng)
◆光源、電源
◆雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體
◆目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個(gè)）
◆物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個(gè)）
◆CCD
◆21英寸液晶顯示器
（4）電控系統(tǒng)
◆汞燈觸發(fā)電源(1000W直流汞燈)
◆單片機(jī)控制系統(tǒng)
◆控制柜桌
（5）氣動(dòng)系統(tǒng)
◆氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等
◆電磁閥驅(qū)動(dòng)
◆氣動(dòng)儀表
（6）其他附件
◆真空泵一臺（無油泵）
◆空壓機(jī)一臺（*泵）
◆管道
（7）技術(shù)資料
◆使用維修說明書
◆顯微鏡使用說明書
