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采用新開(kāi)發(fā)的雙模式分析器,從數(shù)秒至數(shù)十秒的時(shí)間內(nèi)得到數(shù)mm以下的高分辨元素圖、化學(xué)狀態(tài)圖,是真正的成圖XPS。
并且,若在圖像上以鼠標(biāo)點(diǎn)擊分析位置,則無(wú)需移動(dòng)樣品,便可進(jìn)行zui小至15mm微小區(qū)域的多點(diǎn)能譜分析。
→圖像分辨率(邊緣分辨率) 2mm左右
→XPS靈敏度 宏 11,800kcps / 110mmf 735kcps
27mmf 28kcps / (Ag3d5/2、450W、1.3eV)
→zui小分析直徑(能譜分析) 15mmf


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