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OLS5000 OLS5000 3D測量激光顯微鏡

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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奧林巴斯激光共焦顯微鏡采用了高級(jí)光學(xué)系統(tǒng),可通過非破壞觀察法生成高畫質(zhì)的圖像并進(jìn)行精確的3D測量。其準(zhǔn)備操作也非常簡單且無需對樣本進(jìn)行預(yù)先處理。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡配備的兩套光學(xué)系統(tǒng)(彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和激光共焦光學(xué)系統(tǒng))讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。

LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡有4大關(guān)鍵價(jià)值:

  • 捕捉任意表面形狀。
  • 快速獲得可靠數(shù)據(jù)。
  • 使用簡單 - 只需放置樣品并按一下按鈕即可。
  • 測量具有挑戰(zhàn)性的樣品。

價(jià)值1:捕捉任意表面形狀。

 

OLS5000顯微鏡的*技術(shù)使其能夠進(jìn)行高分辨率的3D樣品測量。

價(jià)值2、快速獲得可靠數(shù)據(jù)

該顯微鏡的掃描算法既可提高數(shù)據(jù)質(zhì)量又可提高速度,從而縮短您的掃描時(shí)間,簡化您的工作流程,zui終實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)力的提升。

價(jià)值3、使用簡單,只需放置樣品并按一下按鈕即可

LEXT® OLS5000顯微鏡具有自動(dòng)數(shù)據(jù)采集功能,因而無需進(jìn)行復(fù)雜的設(shè)置調(diào)整。 甚至生疏的用戶也可以獲得準(zhǔn)確的檢測結(jié)果。

價(jià)值4、可測量具有挑戰(zhàn)性的樣品

低輸出、非接觸式無損激光測量意味著不需要樣品制備??梢栽诓粨p壞易損性材料的情況下對其進(jìn)行測量。擴(kuò)展架可容納高達(dá)210毫米的樣品,而超長工作距離物鏡能夠測量深度可達(dá)25毫米的凹坑。在測量這兩類樣品時(shí),您只需將樣品放在載物臺(tái)上即可。

[獲取彩色信息]
彩色成像光學(xué)系統(tǒng)使用利用白光LED光源和CMOS相機(jī)獲取彩色信息。
[獲取3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]
激光共焦光學(xué)系統(tǒng)采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測量樣品的表面不規(guī)則性。

[405納米激光光源]

光學(xué)顯微鏡的橫向分辨率隨著波長的減小而獲得提升。采用短波長激光的激光顯微鏡相比采用可見光(峰值550納米)的傳統(tǒng)顯微鏡具有更優(yōu)的橫向分辨率。 OLS5000顯微鏡利用405納米短波長激光二極管獲得的橫向分辨率。

[激光共焦光學(xué)系統(tǒng)]

激光共焦光學(xué)系統(tǒng)僅接收通過圓形針孔聚焦的光線,并非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊,讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的圖像

[X-Y掃描儀]

OLS5000顯微鏡配有奧林巴斯光學(xué)掃描儀。通過將采用電磁感應(yīng)MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結(jié)合,能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置,因而能夠?qū)崿F(xiàn)具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的X-Y掃描。

[高度測量原理]

在測量高度時(shí),顯微鏡通過自動(dòng)移動(dòng)焦點(diǎn)位置獲取多個(gè)共焦圖像。
根據(jù)非連續(xù)的焦點(diǎn)位置(Z)和檢測光強(qiáng)度(I)可以估算每個(gè)像素的光強(qiáng)變化曲線(I-Z曲線),并獲得其峰值位置和峰值強(qiáng)度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規(guī)則性相對應(yīng),因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似,通過峰值強(qiáng)度數(shù)據(jù)可以獲得針對樣品表面所有位置焦點(diǎn)的圖像(擴(kuò)展圖像)。

主機(jī)規(guī)格:

型號(hào)OLS5000-SAFOLS5000-SMFOLS5000-LAFOLS5000-EAFOLS5000-EMF
總倍率54x - 17,280x
視場直徑16 μm - 5,120 μm
測量原理光學(xué)系統(tǒng)反射式共焦激光掃描激光顯微鏡
反射式共焦激光掃描激光-DIC 顯微鏡
彩色
彩色DIC
光接收元件激光:光電倍增管(2ch)
色彩:CMOS 彩色相機(jī)
高度測量顯示分辨率0.5 納米
動(dòng)態(tài)范圍16 位
可重復(fù)性 n-1 *1 *2 *620x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm
精度 *1 *3 *6測量值 +/- 1.5%
拼接圖像精度 *1 *4 *620x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長度 [μm])
測量噪聲(SQ 噪聲)*1 *5 *61 納米
寬度測量顯示分辨率1 納米
可重復(fù)性 3 n-1 *1 *620x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm
精度 *1 *3 *6測量值 +/- 1.5%
拼接圖像精度 *1 *3 *620x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長度 [μm])
單次測量時(shí)測量點(diǎn)的zui大數(shù)量4096 x 4096 像素
測量點(diǎn)的zui大數(shù)量3600 萬像素
XY 載物臺(tái)配置長度測量模塊
工作范圍

100 x 100 mm 

電動(dòng)

100 x 100 mm 

手動(dòng)

300 x 300 mm 

電動(dòng)

100 x 100 mm 

電動(dòng)

100 x 100 mm 

手動(dòng)

zui大樣品高度100 mm30 mm30 mm210 mm140 mm
激光光源波長405 nm 
zui大輸出0.95 mW 
激光分類2 類 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) 
彩色光源白光 LED
電氣功率240 W240 W278 W240 W240 W
質(zhì)量顯微鏡主體約 31 公斤約 30 公斤約 50 公斤約 43 公斤約 39 公斤
控制器約 12 公斤


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