等離子設(shè)備在半導(dǎo)體、電子材料干式清洗中的應(yīng)用越來越廣泛，如硅晶片的光刻膠剝離、除去有機(jī)膜、界面活性化、微細(xì)研磨、除去碳化膜等領(lǐng)域，等離子產(chǎn)品都發(fā)揮了積極作用。
YAMATO的等離子表面處理設(shè)備除了半導(dǎo)體相關(guān)的清洗用途外，在其他各種領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。等離子處理對其他各種粘接，涂層，鍍膜等強(qiáng)度提高都有顯著效果。

雅馬拓作為一家有著130年歷史的干燥箱體供應(yīng)商，首先把生產(chǎn)箱體的經(jīng)驗(yàn)應(yīng)用在等離子產(chǎn)品上，使該產(chǎn)品有*的密閉性，可以保證低真空環(huán)境下進(jìn)行等離子清洗。
采用日本*等離子發(fā)生裝置、調(diào)頻器，耐用有保障；電極不易損壞，腔體材質(zhì)優(yōu)良、設(shè)計合理，常規(guī)操作環(huán)境下不易被腐蝕。
售后有保障，核心部件供給穩(wěn)定，全部使用日本*產(chǎn)品。
產(chǎn)品種類齊全，可以根據(jù)客戶特殊需求，非標(biāo)定制。

PDC系列適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗機(jī)。
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的
臺式高性能型號，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中
心，可對應(yīng)多種用途。

用途

● CSP、BGA、COB基板的等離子清洗
● 去除有機(jī)膜和金屬氧化膜
● 印刷電路基板的干式清洗
● 界面活性處理
● LED封裝
特征
● DP模式（PDC510標(biāo)配·PDC200/210選配）
● RIE模式
● 均勻性高的電極構(gòu)造
● 操作簡單的觸摸屏控制器