國產(chǎn)質(zhì)量流量計耐壓100bar，可測量腐蝕性氣體，結(jié)構(gòu)緊湊，重復(fù)性高，響應(yīng)時間快，性價比高，可廣泛用于設(shè)備配套。氣體質(zhì)量流量計流量可測到100SLPM，質(zhì)量流量計的流量可測到100SLPM。

一、國產(chǎn)質(zhì)量流量計簡介

國產(chǎn)質(zhì)量流量控制器耐壓100bar，可測量腐蝕性氣體，結(jié)構(gòu)緊湊，重復(fù)性高，響應(yīng)時間快，性價比高，可廣泛用于設(shè)備配套。國產(chǎn)質(zhì)量流量計流量可測到100SLPM，質(zhì)量流量控制器的流量可測到100SLPM。

二、國產(chǎn)質(zhì)量流量計工作原理

熱式質(zhì)量流量計/控制器的核心是在由不銹鋼毛細(xì)管與電阻溫度計組成的感測器。被測氣體分別流經(jīng)兩個層流區(qū)，一路通過主流量管道，另一路通過毛細(xì)測量管。兩個精密的溫度感應(yīng)繞組在測量管上被加熱，當(dāng)有流量產(chǎn)生時，被加熱的氣體從上游帶走熱量到下游的感應(yīng)繞組上，產(chǎn)生溫差和感應(yīng)圈電阻的變化是成比例的。測量繞組的電阻值與瞬時流量成線性比例關(guān)系，采用惠斯頓電橋來檢測測量繞組的電阻變化。

三、國產(chǎn)質(zhì)量流量計技術(shù)規(guī)格

流量范圍      ：5SCCM-100SLPM

量程比        ：2%~100%滿量程

精度          ：≤±1%滿量程

線性度        ：≤±0.2%滿量程

重復(fù)性        ：≤±0.2%滿量程

響應(yīng)時間      ：≤2秒

操作溫度      ：0~50℃

操作壓力      ：0bar~100bar

泄漏率        ：1×10^-10Pa.m³/sec(He)

供電電源      ：+15VDC or +24VDC/300mA

信號輸入/輸出 ：0-5VDC or 4-20mA

密封材質(zhì)      ：標(biāo)準(zhǔn)  Viton

                可選 Buna/Kalrez/Teflon/Epdm

閥門狀態(tài)      ：常閉

電氣連接      ：9針

接口尺寸      ：1/8"、1/4"、3/8"swagelok

                可選VCR連接

主體材質(zhì)      ：316L 不銹鋼

預(yù)熱時間      ：30min