裕隆時代LJ-16T高真空鍍膜機（鍍膜儀），由裕隆時代公司精心設計制作，是專為掃描電鏡和電子探針等進行試樣制備的設備?？梢栽诟呒儦鍤獗Ｗo下進行多種離子處理，也可真空蒸碳和真空蒸金屬。用于樣品的外貌觀察，尤其對成份定量分析更為適宜。采用分子泵系統(tǒng)，特別適于對真空要求高，真空環(huán)境好的用戶選用。 應用領域：離子噴涂、離子濺射、離子清洗、真空蒸碳、真空蒸金屬等工作。
裕隆時代LJ-16T高真空鍍膜機（鍍膜儀），由裕隆時代公司精心設計制作，是專為掃描電鏡和電子探針等進行試樣制備的設備?？梢栽诟呒儦鍤獗Ｗo下進行多種離子處理，也可真空蒸碳和真空蒸金屬。用于樣品的外貌觀察，尤其對成份定量分析更為適宜。采用分子泵系統(tǒng)，特別適于對真空要求高，真空環(huán)境好的用戶選用。 應用領域：離子噴涂、離子濺射、離子清洗、真空蒸碳、真空蒸金屬等工作。
技術參數
? 儀器尺寸：480mm W x 320mm D x 240mm H
? 工作腔室：硼硅酸鹽玻璃 160mm Dia x 120mm H
? 真空系統(tǒng)： 渦輪分子泵，抽速為70L/s
旋轉機械泵：抽速為2L/s兩級旋轉機械泵，帶防返油電磁閥及油污過濾器
? 真空測量：采用復合真空計監(jiān)測真空
? 極限真空度: 10-4mbar兩級
? 工作真空度：10-1mbar（濺射真空度手動調整）
? 工作氣體：濺射工作氣體:氬氣
? 濺射電流：0-20mA（磁控濺射靶0-100mA）
? 微調真空氣閥：可連接φ3mm軟管
? 電源：230伏/50Hz(包括泵大電流為6安培)
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