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可進行真空環(huán)境下的高低溫測試（4.2K-450K）；防輻射屏設計，樣品溫度均勻性和穩(wěn)定性更好；兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動；探針熱沉設計；可升級自動流量控制；可升級加載磁場支持光譜波長/光功率特性測試；器件的高頻特性（支持大67GHz頻率）；VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光譜波長測試；VCSEL/LD/LED/PD的LIV/CV特性測試。
產(chǎn)品特性
1. 可進行真空環(huán)境下的高低溫測試（4.2K-450K）
2. 防輻射屏設計，樣品溫度均勻性和穩(wěn)定性更好
3. 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動
4. 探針熱沉設計
5. 可升級自動流量控制
6. 可升級加載磁場
7. 支持光譜波長/光功率特性測試
8. 器件的高頻特性（支持大67GHz頻率）
9. VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光譜波長測試
VCSEL/LD/LED/PD的的LIV/CV特性測試
主要技術(shù)指標
型號 | LSO-WPS50-TEC | LSO-WPS100-TEC | LSO-WPS50C-TEC | |
外形 | 900mm長* 900mm寬* 530mm高 | 1100mm長* 1100mm寬* 530mm高 | 1100mm長* 1100mm寬* 1030mm高 | |
重量 | 約170公斤 | 約190公斤 | 約290公斤 | |
電力需求 | AC220V, 50~60Hz | |||
樣品臺 | 尺寸 | 2英寸 | 4英寸 | 2英寸 |
樣品固定方式 | 真空導熱硅脂/彈簧壓片 | |||
樣品臺移動 | 固定的樣品臺 | |||
真空度 | 10^-10torr真空 | |||
光學特性 | 顯微鏡行程 | 2*2英寸 | 4*4英寸 | 2*2英寸 |
放大倍數(shù) | 變焦：7:1分辨率4μm（放大倍數(shù)216X）或者選用金像顯微鏡（20X-1000X） | |||
真空腔觀察窗尺寸 | 2inch | 4inch | 2inch | |
CCD像素 | 50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字） | |||
溫度控制 | 制冷方式 | 液氮/液氦 | 制冷壓縮機 | |
控制方式 | 開循環(huán)手動/自動冷媒流量控制 | 閉循環(huán)自動控制 | ||
控溫范圍 | 77~450K/4.2K~450K | 4.2K~450K | ||
控溫分辨率 | 0.001k | |||
溫度穩(wěn)定性 | 4.2K ±0.2K 77K ±0.1K | |||
373K ±0.08K 473K ±0.1K | ||||
823K ±0.2K（可選） 973K ±1.0K（可選） | ||||
常溫到8K冷卻時間 | 90min | 150min | ||
8K到常溫升溫時間 | 90min | 90min | ||
常溫開始的升溫時間 | 100℃ 150℃ 200 ℃ | |||
30min 50min 80min | ||||
加熱電源 | LVDC低壓直流 | |||
傳感器 | 硅二極管 | |||
傳感器數(shù)量 | 樣品臺，防輻射屏，探針臂各一個 | |||
功率 | 50W/100W/500W/1000W | |||
點針規(guī)格 | 探針數(shù)量 | 2個/4個/6個 | ||
探針調(diào)節(jié) | 真空波紋管外部調(diào)節(jié)，手動控制 | |||
點針精度 | 10微米/2微米/0.7微米 | |||
點針行程 | 25mm-25mm-25mm | |||
漏電精度 | 10pA/100fA | |||
接口形式 | 三軸/SMA/K/光纖接口 | |||
應用方向 | 高低溫真空環(huán)境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等 | |||
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