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Huace-6S 高低溫探針臺

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Huace-6S 高低溫探針臺zuida可用于12英寸以內(nèi)樣品測試
采用密閉腔結(jié)構(gòu)，屏蔽外部電信干擾同時保持氮氣正壓環(huán)境下樣品在低溫時無結(jié)霜

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Huace-6S 高低溫探針臺


特點/應(yīng)用


◆ zuida可用于12英寸以內(nèi)樣品測試

◆ 采用密閉腔結(jié)構(gòu)，屏蔽外部電信干擾同時保持氮氣正壓環(huán)境下樣品在低溫時無結(jié)霜

◆ 優(yōu)化的腔體保溫結(jié)構(gòu)可以極大的減少液氮消耗量

◆ 可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡

◆ 可搭配多種類型顯微鏡

◆ 結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計，可無縫升級

◆ 探針臺可根據(jù)客戶要求定制。


技術(shù)參數(shù)


臺體規(guī)格

樣品臺尺寸

6英寸/8英寸/12英寸

水平旋轉(zhuǎn)

可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置

X-Y移動行程

6英寸×6英寸/8英寸×8英寸/12英寸×12英寸

X-Y移動精度

10μm/1μm

樣品固定

真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

針座平臺

U型針座平臺，zuiduo可放置6-12個探針座

平臺升降

可快速升降10mm/可微調(diào)升降10mm

背電極測試

樣品臺電學(xué)獨立懸空，4mm插孔可接背電極

溫度范圍

負80°到正400°

溫控精度

0.01°/0.1°/1°

設(shè)備重量

約20KG/30KG


光學(xué)系統(tǒng)

顯微鏡類型

單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移動行程

水平方向繞立柱旋轉(zhuǎn)/XY軸移動4英寸，Z軸行程50.8mm

光源

外置LED環(huán)形光源/同軸光源

CCD

200萬像素/500萬像素/1200萬像素


定位器

X-Y-Z移動行程

12mm*12mm*12mm

移動精度

10μm/2μm/0.7μm/0.5μm

吸附方式

磁力吸附，真空吸附

線纜

同軸線/三軸線

漏電精度

10pA/100fA/10fA

固定探針

彈簧固定/管狀固定

接頭類型

BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

針尖直徑

0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm

針尖材質(zhì)

鎢鋼；鈹銅


可選附件：

加熱臺；
顯示器；
轉(zhuǎn)接頭；
射頻測試配件；

屏蔽箱；

光學(xué)平臺；
鍍金卡盤；
光電測試配件；

高壓測試配件；

顯微鏡快速傾仰裝置；

激光系統(tǒng)；

探針卡夾具；


Huace-6S 高低溫探針臺








北京華測試驗儀器有限公司

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