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熱蒸發(fā)鍍膜機 (Thermal Evaporator System)

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熱蒸發(fā)鍍膜機 (Thermal Evaporator System)通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面,稱為熱蒸發(fā)鍍膜,熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一。熱蒸發(fā)鍍膜機一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖。

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熱蒸發(fā)鍍膜機 (Thermal Evaporator System)通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面,稱為熱蒸發(fā)鍍膜,熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一。熱蒸發(fā)鍍膜機一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖。


熱蒸發(fā)鍍膜機 (Thermal Evaporator System)技術(shù)規(guī)格特點:

基底尺寸:4英寸,6英寸,8英寸;

基底旋轉(zhuǎn):0~10rpm;

熱蒸發(fā)源:4英寸或6英寸熱蒸發(fā)舟,交流電源;

腔體:鋁合金或不銹鋼材料可供客戶選擇,不同尺寸的箱式腔室可選;

泵:機械泵,擴散泵或者分子泵,供客戶選擇;

Load Lock樣品傳輸腔室:手動或自動傳輸,高真空,支持多種樣品襯底;

工藝控制:PC/PLC機制的自動控制,使用GUI進行工藝控制、數(shù)據(jù)處理、遠程支持;

原位監(jiān)控:石英晶振監(jiān)測(QCM),光學(xué)監(jiān)測,殘余氣體分析,其他原位監(jiān)測技術(shù)或控制;

襯底固定:單襯底固定,多襯底固定,行星式襯底固定,客戶化襯底固定方式;

襯底夾具:加熱,冷卻,偏置,旋轉(zhuǎn)等;


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