橢圓偏光法是基于測(cè)量偏振光經(jīng)過樣品反射后振幅和相位的改變研究材料的性質(zhì)。光譜型橢偏儀Ellipsometer在全部光譜范圍內(nèi)（而不是特定的波長(zhǎng)）測(cè)量Psi和Delta，通過構(gòu)建物理模型對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合分析，終得到膜厚、折光系數(shù)、吸收、粗糙度、組成比率等結(jié)果。

儀器特點(diǎn)：

可直接得到光學(xué)參數(shù)、n值（折射率）、k值（吸收率）及厚度，并可作在線即時(shí)測(cè)量；

 可作各光學(xué)參數(shù)的整理歸檔，并以各種不同模式輸出；

 非接觸式測(cè)量，不刮傷損壞測(cè)試樣品；

 體積小巧：由高性能的微型光纖光譜儀構(gòu)成分光逐漸，體積小巧；

 使用簡(jiǎn)單方便：由計(jì)算機(jī)控制測(cè)量，只需按一個(gè)按鍵，即可完成薄膜特性檢測(cè)。

特性參數(shù)：

可用于：在線過程監(jiān)控或離線產(chǎn)品檢測(cè)

橢偏儀原理：

橢圓偏光法是基于測(cè)量偏振光經(jīng)過樣品反射后振幅和相位的改變研究材料的性質(zhì)。光譜型橢偏儀Ellipsometer在全部光譜范圍內(nèi)(而不是特定的波長(zhǎng))測(cè)量Psi和Delta，通過構(gòu)建物理模型對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合分析，終得到膜厚、折光系數(shù)、吸收、粗糙度、組成比率等結(jié)果。