創(chuàng)新點(diǎn)

◎的光斑可視系統(tǒng)（技術(shù)): Auto SE 集成了的MyAutoView光斑可視系統(tǒng)（技術(shù)），該系統(tǒng)配備在標(biāo)準(zhǔn)橢圓偏振光譜儀中,允許操作者全程觀測(cè)樣品光斑，以確保各種類型的樣品都能在*正確的位置，以合適的光斑尺寸進(jìn)行測(cè)量。解決了現(xiàn)有測(cè)量技術(shù)中的“盲測(cè)”難題。

◎一鍵式操作，大大提高工作效率。

◎共焦微光斑技術(shù)： 提供8種不同光斑尺寸的自動(dòng)選擇。

◎全自動(dòng)智能診斷及故障處理：大大減輕了設(shè)備的維護(hù)負(fù)擔(dān)。

儀器簡(jiǎn)介：

　　新型的全自動(dòng)薄膜測(cè)量分析工具，工業(yè)化設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)單，可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動(dòng)測(cè)量和分析，并輸出分析報(bào)告。是用于快速薄膜測(cè)量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。

技術(shù)參數(shù)：

·光譜范圍：450-1000 nm

·多種微光斑自動(dòng)選擇

·光斑可視技術(shù)，可觀測(cè)任何樣品表面

·CCD探測(cè)器

·自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動(dòng)調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm

·70度角入射

主要特點(diǎn)：

·*自動(dòng)化設(shè)計(jì)，一鍵式操作，直接報(bào)告輸出

·液晶調(diào)制技術(shù)，測(cè)量光路中無運(yùn)動(dòng)部件

·CCD探測(cè)系統(tǒng)，快速全譜輸出

·多個(gè)微光斑尺寸選擇，可視技術(shù)

·封閉式樣品倉(cāng)