桌面型高性能磁控濺射系統(tǒng) Desktop Pro提供了一種高性能，小巧，實惠的磁控濺射系統(tǒng) 節(jié)省空間 Desktop Pro只需要不到36英寸的空間（0.9m） 節(jié)省費用 一個電源可以驅(qū)動兩個靶槍 均勻性好 傾斜的靶槍和旋轉(zhuǎn)工件盤使得在整個工件盤上達到5%的鍍膜均勻性 抽真空速度快 抽速65lps的渦輪分子泵，保證系統(tǒng)的抽真空性能和對反應(yīng)氣體的負載能力 Desktop Pro產(chǎn)品彩頁下載

強大的控制系統(tǒng) 基于PLC的觸摸屏控制系統(tǒng)提供下列操作模式：維修模式，手動操作模式和半自動操作模式 互鎖保護避免不適當操作對人員和設(shè)備的損害

典型應(yīng)用 磁控濺射 磁控濺射 材料研究 產(chǎn)品質(zhì)量控制和分析 半導(dǎo)體失效分析 納米技術(shù) 復(fù)合半導(dǎo)體

可選項	磁控濺射
液氮冷阱
共濺射
射頻/直流濺射電源
多靶槍
質(zhì)量流量控制器，精確控制氣體流量
泵選項
無油機械泵