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- 公司名稱 沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司
- 品牌
- 型號
- 所在地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2020/10/26 16:53:34
- 訪問次數(shù) 564
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產(chǎn)品簡介:SKCC-GZB-X高真空磁控濺射永磁靶頭(公、自旋轉(zhuǎn)靶頭)適用靶材種類較廣,如金屬/絕緣靶或磁性/非磁性靶材。配裝有環(huán)形永磁體在靶頭上,以保證濺射鍍膜的效率和均勻性??膳cDC或RF電源配合使用。
產(chǎn)品型號 | SKCC-GZB-X(高真空磁控濺射公、自旋轉(zhuǎn)靶頭) |
產(chǎn)品規(guī)格 | 1寸,SKCC-GZB-1 2寸,SKCC-GZB-2 3寸,SKCC-GZB-3 4寸,SKCC-GZB-4 注:其它尺寸可以訂制 |
主要特點 | 1、轉(zhuǎn)靶帶擋板(可實現(xiàn)每次露出一個工作的靶,避免交叉污染); 2、采用電磁場的有元計算法來設(shè)計永磁體,以得到較高的磁場強度和均勻分布; 3、轉(zhuǎn)靶轉(zhuǎn)速5~60轉(zhuǎn)/分可調(diào); 4、標準的HN型接頭,可與DC和RF電源相匹配; 5、安裝采用標準真空法蘭(CF金屬密封或Dg膠圈密封可選); 6、靶材更換較為簡單,無需調(diào)整濺射頭的高度。 |
配套電源 | 1、直流DC;2、射頻RF |
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