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SKCC-YCB-X高真空磁控濺射永磁靶頭

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產(chǎn)品簡介:SKCC-YCB-X高真空磁控濺射永磁靶頭適用靶材種類較廣,如金屬/絕緣靶或磁性/非磁性靶材。配裝有環(huán)形永磁體在頭上,以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。可與DC或RF電源配合使用。

 

產(chǎn)品型號

SKCC-YCB-X(高真空磁控濺射永磁靶頭)

產(chǎn)品規(guī)格

2寸,SKCC-YCB-2

3寸,SKCC-YCB-3

4寸,SKCC-YCB-4

5寸,SKCC-YCB-5

6寸,SKCC-YCB-6

7寸,SKCC-YCB-7

主要特點(diǎn)

1、采用高質(zhì)量的不銹鋼和永磁材料制作。

2、采用電磁場的有元計(jì)算法來設(shè)計(jì)永磁體,以得到較高的磁場強(qiáng)度和均勻分布。

3的磁性材料冷卻裝置結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),避免冷卻水腐蝕磁性材料,延長其使用壽命。

4、標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭,可與DCRF電源相匹配。

5、安裝采用標(biāo)準(zhǔn)真空接頭,便于操作。

6、靶材更換較為簡單,無需調(diào)整濺射頭的高度。

配套電源

1、直流DC2、射頻RF

備注

如需要折靶則:

2寸折靶,SKCC-YCB-2-Z

3寸折靶,SKCC-YCB-3-Z

4寸折靶,SKCC-YCB-4-Z


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