產(chǎn)品簡介：全自動橢偏檢測機臺作為一種小型橢偏集成機臺，通過整體高度模塊化，電、氣路集成技術(shù)，實現(xiàn)不同橢偏測量模塊在線/離線式整體橢偏測量解決方案。全自動橢偏檢測機臺廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究中各種各向同性，異性薄膜材料的膜厚、光學(xué)常數(shù)以及一維、二維納米光柵的結(jié)構(gòu)表征；工業(yè)領(lǐng)域新型光電器件行業(yè)所涉及的薄膜（配向膜、光刻膠、ITO、發(fā)光薄膜、封裝薄膜）全片離線化快速掃描測量。