產(chǎn)品名稱

GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀

產(chǎn)品型號(hào)

GSL-1800X-ZF4

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水）

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、工作臺(tái)：落地式，占地面積2m²以上。

4、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、真空控制單元全部集合在一個(gè)控制盒內(nèi)。

2、采用獨(dú)立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。

3、真空腔體設(shè)有1個(gè)KF40旁抽閥（直接與前級(jí)機(jī)械泵相連，提高效率）、1個(gè)CF150閘板閥（直接與分子泵相連）、1個(gè)KF16法蘭（安裝電阻規(guī)）、6個(gè)CF35法蘭（1個(gè)安裝電離規(guī)，1個(gè)安裝2芯電極，1個(gè)安裝膜厚儀）
3個(gè)備用。

4、在腔體底部配有5個(gè)水冷電極，可支持4個(gè)蒸鍍加熱舟。

5、樣品臺(tái)安裝在腔體的頂部。

6、腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測(cè)厚儀，膜厚測(cè)量分辨率（鋁）為0.1Å。

7、可使用循環(huán)水冷機(jī)。

技術(shù)參數(shù)

1、輸入：?jiǎn)蜗郃C220V，50Hz/60Hz，功率<2.16KW（不含真空泵）

2、蒸發(fā)輸出：電壓AC 0-8V連續(xù)可調(diào)，極限蒸發(fā)電流200A，極限蒸發(fā)功率<1.6KW

3、真空腔：Ø300mm（內(nèi)徑）×400mm，不銹鋼，內(nèi)壁經(jīng)電拋光處理

4、觀察窗：Ø100mm，采用密封圈密封

5、真空泵：高抽速渦輪分子泵，抽速600L/s

6、真空度：8.0x10^-4Pa

7、極限真空8.0x10^-5Pa

8、漏率：6.7×10^-8Pa·L/S

9、樣品臺(tái)：φ120

10、蒸發(fā)舟與樣品臺(tái)間距：150-210mm

11、冷卻水需量：15L/min

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：900mm×1100mm×1800mm；重量：230kg