MEMSMap 510激光多普勒振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)
我們使用的技術(shù)是用擴(kuò)展的激光束照射物體，并用內(nèi)置照相機(jī)成像。當(dāng)物體振動(dòng)時(shí)，反射的激光也“振動(dòng)”，物體位移相應(yīng)地調(diào)制激光。這可以在復(fù)合材料的表面振動(dòng)、靜態(tài)變形和內(nèi)部缺陷的全場(chǎng)圖中檢測(cè)到。
基于激光的微結(jié)構(gòu)高頻、低振幅振動(dòng)三維測(cè)量系統(tǒng)。
MEMSMap 510還可以測(cè)量靜態(tài)位移，它可以測(cè)量粗糙和光滑的表面，具有微米的空間分辨率。
通過(guò)使用長(zhǎng)焦距物鏡，MEMSMap 510可以通過(guò)窗口和熱過(guò)濾器、鏡子以及液體介質(zhì)進(jìn)行測(cè)量。
•MEMS和NEMS •微結(jié)構(gòu) •傳感器
•振動(dòng)模式分析•響應(yīng)譜•壓力傳感器•加速度計(jì)
•陀螺儀•碰撞傳感器•高溫測(cè)量•真空室測(cè)量
•熱偏轉(zhuǎn)測(cè)量•老化效應(yīng)分析
•汽車(chē)工業(yè)•傳感器工業(yè)•醫(yī)療工業(yè)•航空航天工業(yè)•電子工業(yè)•研發(fā)•產(chǎn)品測(cè)試
MEMSMap 510使用擴(kuò)展的激光束照亮目標(biāo)區(qū)域，同時(shí)通過(guò)顯微物鏡將目標(biāo)成像到CMOS傳感器陣列上。
對(duì)于平面外測(cè)量，使用內(nèi)部參考光束干擾目標(biāo)光。對(duì)于平面內(nèi)測(cè)量，兩束激光用于物體照明。
對(duì)于振動(dòng)測(cè)量，系統(tǒng)計(jì)算機(jī)使用信號(hào)發(fā)生器驅(qū)動(dòng)激勵(lì)裝置，目標(biāo)物體在一個(gè)頻率范圍內(nèi)被激勵(lì)。
振動(dòng)振幅條紋可以實(shí)時(shí)顯示，同時(shí)采用*的記錄算法計(jì)算數(shù)值振幅和相位圖。
對(duì)于靜態(tài)撓度測(cè)量，光電管技術(shù)基于相移來(lái)記錄和計(jì)算被測(cè)物體的靜態(tài)撓度。
激光器類(lèi)型：Nd：YAG/2
激光波長(zhǎng)：532nm
CCD分辨率：1936*1216/CMOS
振幅分辨率(數(shù)字模式)：0.1nm
振幅分辨率(實(shí)時(shí)模式)~1nm
3D頻率范圍：0-240MHz
多普勒激光測(cè)振儀Memsmap 510以其測(cè)速精度高、測(cè)速范圍廣、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快、非接觸測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)在航空航天、機(jī)械、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)以及工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用和快速發(fā)展。多普勒激光測(cè)振儀Memsmap 510主要應(yīng)用多普勒效應(yīng)實(shí)現(xiàn)物體的振動(dòng)測(cè)試，利用激光的非接觸測(cè)量可實(shí)現(xiàn)一些特殊環(huán)境下的測(cè)試，例如對(duì)微電子元件(MEMS)，機(jī)床高速旋轉(zhuǎn)軸的徑向跳動(dòng)及軸向振動(dòng)以及在高溫腐蝕環(huán)境下的測(cè)試，實(shí)現(xiàn)了傳統(tǒng)的接觸式傳感器在這些應(yīng)用領(lǐng)域的空白。
