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MDL900 大量程超高純氣體稀釋裝置

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根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)ISO6145研制的熱式質(zhì)量流量控制器法的氣體稀釋裝置,稀釋范圍從(100-10000)倍,流量輸出(0.5-5)L/min,具有兩元或多元稀釋模式。

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DL900  大量程超高純氣體稀釋裝置
根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)ISO6145研制的熱式質(zhì)量流量控制器法的氣體稀釋裝置,稀釋范圍從(100-10000)倍,流量輸出(0.5-5)L/min,具有兩元或多元稀釋模式。裝置中采用進(jìn)口熱式流量控制器,并經(jīng)高精度流量計(jì)校準(zhǔn),流量偏差可控制在0.5%以內(nèi),重復(fù)性小于0.2%,線性擬合系數(shù)R2>0.9999,稀釋裝置精度小于2%。

裝置優(yōu)勢(shì):1、裝置內(nèi)部管線采用VCR與焊接相結(jié)合,具有非常好的密封性,可適用于高純及超高純氣體稀釋;

          2、裝置稀釋范圍大,稀釋比例可達(dá)105倍;
          3、節(jié)省載氣 ,可在出口氣體流量不變的情況下,進(jìn)行高倍數(shù)稀釋;
          4、允許稀釋后氣體有一定背壓(0.5MPa以內(nèi)),適合有進(jìn)樣壓力要求的儀器使用。


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