超越光學(xué)極限的高倍率

■ 倍率高達(dá)100,000X
■ SE(二次電子)探測器(可選BSE探測器)

■ 加速電壓5kV~30kV范圍可調(diào)

■ 多種真空模式-標(biāo)準(zhǔn)/荷電減輕

■ 等待時間少于2分鐘

■ 5軸控制載物臺-X、Y、R、Z、T

■ 4孔可變光闌-30/50/100/200 um

■ 選配-EDX系統(tǒng) 冷凍載臺 低真空控制系統(tǒng)

非導(dǎo)電性樣品無須涂層、快速簡便

■ 任何人都能使用的自動調(diào)整功能
■ 交替樣品后兩分鐘即可獲得滿意的影像
■ 體積小巧，靈活快捷
■ 便利化的GUI界面

影像鮮明的掃描電鏡

■ 高分辨率高達(dá)5百萬像素
■ 極大的景深層次豐富
■ 多種格式儲存
■ 多種測定功能：長度、角度等

離子濺射儀：

• 操作快捷簡便

• 裝載樣品尺寸：
  大50mm

• 靶材：Au金

• 外形/重量：
  180W*310D*310H/15kg

冷凍載臺

• 與SEM預(yù)留的EDS接口兼容

• 對有水分樣品進(jìn)行水分蒸發(fā)

• 通過控制盤進(jìn)行溫度設(shè)置

• 設(shè)置溫度及溫度變化實(shí)時顯示

• 樣品高度可調(diào)

• 可進(jìn)行遠(yuǎn)程傳輸和遙控

EDS系統(tǒng): BRUKER EDS QUANTAX 100

• SDD硅漂移藝術(shù)-無需液氮制冷

• 譜線分辨率優(yōu)于133eV(MnKa)

• 檢測范圍可以從硼B(yǎng)(5)到镅Am(95)

• 多點(diǎn)分析/先掃描/元素分布圖

BSE探測器

• 四通道固定型

• 合成物或形貌分析

• 優(yōu)異的原子序數(shù)分辨率0.1Z(Z=30時)

• 可選探測器應(yīng)對普通低電壓UVH