PANALYZER
多元素同步 mapping 太陽(yáng)能電池薄膜 LIBS 在線檢測(cè)系統(tǒng)
LIBS 技術(shù)進(jìn)入太陽(yáng)能工業(yè)
PAnalyzer是利用激光誘導(dǎo)擊穿光譜（LIBS）技術(shù)在大尺寸面板上，對(duì)樣品進(jìn)行多元素定性，定量分析量測(cè)的工業(yè)檢測(cè)系統(tǒng)。PAnalyzer由于其許多的特點(diǎn)：非接觸測(cè)量系統(tǒng)、易操作性，從而可以被廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能電池板，玻璃面板，冶金、陶瓷工業(yè)類似面板……的生產(chǎn)、制造過(guò)程中離線/在線工藝及質(zhì)量控制和研發(fā)分析。
PAnalyzer配備安裝在超大行程XY平臺(tái)上的可移動(dòng)測(cè)量頭，在很短的測(cè)量時(shí)間內(nèi)，可以提供待測(cè)元件的橫向元素均勻性（元素濃度和元素組成）的空間分辨分析。由于單個(gè)組件的模塊化設(shè)計(jì)，該系統(tǒng)可良好地適于特定用戶的特殊測(cè)量需求。下列模塊可作為標(biāo)準(zhǔn)組件：
? Nd：YAG激光器，二極管泵浦
? 帶有CCD或者ICCD的高分辨率中階梯光譜儀 ? 遠(yuǎn)程探測(cè)光學(xué)組件 (信號(hào)收集望遠(yuǎn)鏡， 激光擴(kuò)束，聚焦光學(xué)元件) ?光纖耦合 | ?可定制樣品架 ?大行程電動(dòng)位移控制 ?視頻監(jiān)控 ?Interlock安全電路 ?激光1級(jí)安全防護(hù)外罩 |
Panlayzer的測(cè)量能力可以通過(guò)添加一個(gè)拉曼系統(tǒng)進(jìn)行提高。系統(tǒng)提供LIBS&RAMAN增強(qiáng)型配置；這樣，除了樣本元素分析外，樣品的分子組成可以被同時(shí)測(cè)定。
激光誘導(dǎo)擊穿光譜（LIBS）是一種原子發(fā)射光譜，利用激光燒蝕，對(duì)隨后產(chǎn)生的等離子體發(fā)射譜線進(jìn)行元素分析。激光燒蝕可以提供從任何種類的材料（固體，液體，氣體）直接取樣，是免樣品制備的分析方法。
硬件操控及光譜評(píng)價(jià)軟件Sophi提供基于PC的控制面板來(lái)訪問(wèn)所有設(shè)備功能。所測(cè)量的LIBS光譜譜線將通過(guò)一個(gè)內(nèi)部集成的大型數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行分析，并且定性分析出相對(duì)應(yīng)的元素。對(duì)于未知成分樣本的多元素定量分析，需要參考樣本提供一個(gè)外標(biāo)標(biāo)定；Sophi可以實(shí)現(xiàn)基于腳本語(yǔ)言的程序自動(dòng)控制，實(shí)現(xiàn)重復(fù)測(cè)量及進(jìn)行程序自動(dòng)化的光譜評(píng)價(jià)，為用戶提供大的靈活性。
主要特點(diǎn)（Features）
· 離線/在線測(cè)量
· 大尺寸樣本元素成分mapping
· 軟件全自動(dòng)控制
· 啟動(dòng)快速
· 操作簡(jiǎn)易
PAnalyzer 光伏工業(yè)
· 對(duì)樣本中低含量元素（如鐵、銅、鋅、鈉……若干ppm量級(jí)），進(jìn)行多元素同步定量分析，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)控
· 非接觸測(cè)量
· 軟件全自動(dòng)控制
· 無(wú)需制備樣品
· 測(cè)量時(shí)間小于1秒/點(diǎn)（根據(jù)客戶要求，可提供更高速度）
規(guī)格參數(shù)（Specifications）
測(cè)量方法 | 激光誘導(dǎo)擊穿光譜 (LIBS) | 定性和定量多元素分析 |
非接觸測(cè)量 |
無(wú)需樣品制備 |
無(wú)損分析 |
每個(gè)測(cè)量點(diǎn)的典型的測(cè)量時(shí)間 1 | < 1 s |
低檢測(cè)限(LOD) 2 | < 10 ppm |
特征 | （大尺寸）樣本mapping |
離線/在線檢測(cè) |
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XY平臺(tái) 3 | 軸 | 電動(dòng)線性驅(qū)動(dòng)軸 |
定位精度 | ±1 mm |
重復(fù)性 | 100 µm |
步進(jìn)精度 | ≤ 100 µm |
速度 | 60 mm / s |
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光譜儀 | 類型 | 中階梯光柵光譜儀（ARYELLE系列） |
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激光 3 | 類型 | Nd:YAG |
波長(zhǎng) | 1,064 nm (optional 532 nm, 355 nm, 266 nm) |
脈沖能量 | up to 25 mJ |
頻率 | up to 100 Hz |
泵浦二極管壽命 | > 1 billion shots |
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安全性 | 設(shè)備外殼 | 激光安全罩，激光等級(jí)1 |
interlock安全回路 | door, light curtain, service door |
信號(hào)燈 | 提供 |
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樣品 | 寬度x 深度 x高度 4 | 1,200 mm x 1,600 mm x 4 mm |
重量 | max. 10 kg |
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控制和分析 | 硬件 | 基于電腦的控制面板 |
軟件 | 操作和評(píng)測(cè)軟件sophi |
工作參數(shù)設(shè)定 |
實(shí)時(shí)監(jiān)控 |
用于實(shí)現(xiàn)測(cè)量和分析自動(dòng)化的腳本編輯器 |
定性和定量光譜分析 |
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外形尺寸 工作條件 | 寬度x 深度 x高度 4 | (2,200 x 1,350 x 2,340) mm |
重量 | 700 kg |
典型功耗 | 2 kW |
工作溫度 | + 10 °C … + 35 °C |
相對(duì)濕度 | max. 80 % |
1 依賴于硬件配置及具體測(cè)量應(yīng)用 2 取決于樣本中的待測(cè)元素及樣本的元素組成 3 可提供其它規(guī)格可提供 4 可根據(jù)客戶要求定制 | *技術(shù)規(guī)格將可能更改 |
應(yīng)用領(lǐng)域（Application）
· 操作過(guò)程監(jiān)控
· 質(zhì)量控制
· 工業(yè)應(yīng)用
