迷你臺，結(jié)構(gòu)緊湊
 | (1) 迷你臺，結(jié)構(gòu)緊湊 (2) 壓電電機 (3) 有真空版本 (4) 方臺，可組裝XY二維位移臺 |
| 產(chǎn)品型號 | FMSS60P-20 |
| 行程（mm) | 20 |
| 負載(Kg） | 2 |
| 分辨率（um) | 0.1 |
| 小運動增量(um)【1】 | 0.2 |
| 單向重復(fù)定位精度/保證值*(um) | ±0.2 |
| 單向重復(fù)定位精度/典型值*(um) | |
| 雙向重復(fù)定位精度/保證值*(um) | ±0.5 |
| 雙向重復(fù)定位精度/典型值*(um) | |
| 準確度/保證值*(um) | ±3 |
| 準確度【2】/典型值*(um) | |
| 大速度（mm/s) | 5 |
| 直線度(um) | 5 |
| 平整度(um) | 5 |
| Yaw-偏擺(")【3】 | 10 |
| Pitch俯仰（"） | 10 |
| 持續(xù)推力（N) | 6 |
| 峰值推力（N） | 6 |
| 外形尺寸(mm) | 60x60x23 |
| 臺面尺寸（mm) | 60x60 |
| [1]：小運動增量不等同于分辨率，小運動增量是指運動系統(tǒng)在連續(xù)、穩(wěn)定情況下能夠移動的小量。一般來說，系統(tǒng)分辨率遠小于小運動增量?？紤]傳動結(jié)構(gòu)和編碼器對系統(tǒng)誤差的影響，直線電機位移臺與步進電機位移臺相比，其小運動增量更加接近于分辨率。 [2]：準確度和重復(fù)定位精度是容易混淆的概念。一般采用打靶描述可以容易的區(qū)分這兩個概念。 [3]：只有直線度、平行度、Pitch、Yaw等參數(shù)都達到高水準要求，運動系統(tǒng)的準確度、重復(fù)定位精度才能達到高精度水平。也就是說，客戶一般只需要考慮準確度與重復(fù)定位精度是否滿足應(yīng)用需求就可以選擇到滿意的位移平臺。當客戶對平臺運動有更高要求時，非軸向參數(shù)是需要考慮的。 *：典型值和保證值的區(qū)別見技術(shù)指南 | |
產(chǎn)品特性：
 | 壓電腿直接與傳動軸摩擦傳動。壓電陶瓷運動腿與傳動軸接觸并有一定的預(yù)緊力，當運動腿開始運動時，腿與傳動軸總是處于機械接觸中。 1、快速響應(yīng)和整定 2、高強度 3、強大的驅(qū)動力 |
| G1等級交叉滾子導(dǎo)軌 | |
 | 高精度光柵尺作為閉環(huán)控制編碼器 |
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