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FMS115Z-150H

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最小運(yùn)動增量50nm

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電動位移臺選購指南 Feinixs系列產(chǎn)品命名規(guī)則 位移控制基本概念
FMS115Z-150H
(1) 最小運(yùn)動增量50nm
(2) 無鐵芯直線電機(jī),反應(yīng)靈敏,滿負(fù)載加速度可達(dá)2000mm/s2
(3) ,適用于高精密環(huán)境

詳細(xì)規(guī)格參數(shù)
產(chǎn)品型號 FMS115Z-150H
行程(mm) 150
負(fù)載(Kg) 10
分辨率(um) 0.01
最小運(yùn)動增量(um)【1】 0.05
單向重復(fù)定位精度/保證值*(um) ±0.1
單向重復(fù)定位精度/典型值*(um)
雙向重復(fù)定位精度/保證值*(um) ±0.3
雙向重復(fù)定位精度/典型值*(um)
準(zhǔn)確度/保證值*(um) ±1
準(zhǔn)確度【2】/典型值*(um)
速度(mm/s) 50
直線度(um) 2
平整度(um) 2
Yaw-偏擺(")【3】 5
Pitch俯仰(") 5
持續(xù)推力(N) 20
峰值推力(N) 72
外形尺寸(mm) 320X115X50
臺面尺寸(mm) 115X115
[1]:最小運(yùn)動增量不等同于分辨率,最小運(yùn)動增量是指運(yùn)動系統(tǒng)在連續(xù)、穩(wěn)定情況下能夠移動的最小量。一般來說,系統(tǒng)分辨率遠(yuǎn)小于最小運(yùn)動增量??紤]傳動結(jié)構(gòu)和編碼器對系統(tǒng)誤差的影響,直線電機(jī)位移臺與步進(jìn)電機(jī)位移臺相比,其最小運(yùn)動增量更加接近于分辨率。
[2]:準(zhǔn)確度和重復(fù)定位精度是容易混淆的概念。一般采用打靶描述可以容易的區(qū)分這兩個概念。
[3]:只有直線度、平行度、Pitch、Yaw等參數(shù)都達(dá)到高水準(zhǔn)要求,運(yùn)動系統(tǒng)的準(zhǔn)確度、重復(fù)定位精度才能達(dá)到高精度水平。也就是說,客戶一般只需要考慮準(zhǔn)確度與重復(fù)定位精度是否滿足應(yīng)用需求就可以選擇到滿意的位移平臺。當(dāng)客戶對平臺運(yùn)動有更高要求時,非軸向參數(shù)是需要考慮的。
*:典型值和保證值的區(qū)別見技術(shù)指南


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