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 | (1) 結構緊湊 (2) 方臺 (3) 高速小行程 |
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| 產(chǎn)品型號 | FMSS90C-40 | FMSS140C-50 |
| 行程（mm) | 40 | 50 |
| 負載(Kg） | 1 | 10 |
| 分辨率（um) | 0.1 | 0.01 |
| 小運動增量(um)【1】 | 0.3 | |
| 單向重復定位精度/保證值*(um) | ±0.3 | ±1 |
| 單向重復定位精度/典型值*(um) | ||
| 雙向重復定位精度/保證值*(um) | ±0.6 | ±2 |
| 雙向重復定位精度/典型值*(um) | ||
| 準確度/保證值*(um) | ±1 | |
| 準確度【2】/典型值*(um) | ||
| 大速度（mm/s) | 100 | 200 |
| 直線度(um) | 5 | 5 |
| 平整度(um) | 5 | 5 |
| Yaw-偏擺(")【3】 | 10 | 10 |
| Pitch俯仰（"） | 10 | 10 |
| 持續(xù)推力（N) | 3 | 17.6 |
| 峰值推力（N） | 11.9 | 88 |
| 外形尺寸(mm) | 90x90x32.5 | 140×140×42 |
| 臺面尺寸（mm) | 90x90 | 140×140 |
| [1]：小運動增量不等同于分辨率，小運動增量是指運動系統(tǒng)在連續(xù)、穩(wěn)定情況下能夠移動的小量。一般來說，系統(tǒng)分辨率遠小于小運動增量?？紤]傳動結構和編碼器對系統(tǒng)誤差的影響，直線電機位移臺與步進電機位移臺相比，其小運動增量更加接近于分辨率。 [2]：準確度和重復定位精度是容易混淆的概念。一般采用打靶描述可以容易的區(qū)分這兩個概念。 [3]：只有直線度、平行度、Pitch、Yaw等參數(shù)都達到高水準要求，運動系統(tǒng)的準確度、重復定位精度才能達到高精度水平。也就是說，客戶一般只需要考慮準確度與重復定位精度是否滿足應用需求就可以選擇到滿意的位移平臺。當客戶對平臺運動有更高要求時，非軸向參數(shù)是需要考慮的。 *：典型值和保證值的區(qū)別見技術指南 | ||
實物圖
產(chǎn)品特性：
 | 隨著科研工業(yè)對高速高精度定位需求與日俱增，直線電機技術越來越成熟，已經(jīng)逐步取代步進伺服電機從而進入到電子，機床，科研，自動化、檢測，掃描等各行業(yè)；直線電機的出現(xiàn)，直接消除了以往需要絲杠把電機旋轉運動變?yōu)橹本€運動方式，從而避免了復雜的機械機構，大量減少了影響位移臺精度的器件數(shù)量，然爾直線電機驅控方式?jīng)Q定了，用直線電機做高精度位移臺對導向機構： |
| 德國的G1等級導軌 |  |
 | 高精度光柵尺作為閉環(huán)控制編碼器 |
| 標準接口 像搭積木一樣搭建運動控制系統(tǒng) |  |
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