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 | (1) 高精度垂直升降臺 |
| 圖片 |  |  |
| 產(chǎn)品分類 | 直線電機升降臺 | 直線電機升降臺 |
| 產(chǎn)品型號 | FMSZ125C-50 | FMSZ140C-100 |
| 外形尺寸 | 110x155x248 | 110x170X336 |
| 臺面尺寸（mm) | 125x125 | 125x125 |
| 持續(xù)推力（N) | 17.6 | 17.6 |
| 峰值推力（N） | 88 | 88 |
| 行程（mm) | 50 | 100 |
| 大速度（mm/s) | 100 | 100 |
| 負載(Kg） | 5 | 5 |
| 分辨率（um) | 0.1 | 0.1 |
| 小位移量(um) | 0.3 | 0.3 |
| 單向重復定位精度(um) | ±0.5 | ±0.5 |
| 雙向重復定位精度(um) | ±1 | ±1 |
| 定位精度(um) | ±2 | ±2 |
| 直線度(um) | 5 | 5 |
| 平行度(um) | 5 | 5 |
| 偏擺(") | 10 | 10 |
| 俯仰（“） | 10 | 10 |
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